Atlas Kronis

Účinné výfukové řízení CVD procesů musí být schopno zvládnout depozici plynů a souvisejicího prachu. Fluoridové odpady z čištěných plynů, také vyžadují vhodné zacházení spolu s globálním oteplováním plynů. Systémy snižování musí být schopny splnit tyto požadavky v jedné kompletní jednotce.

Charakteristika

  • Vysoce výkonné snižování
    • Ničí všechny nízké k CVD prekursory a čisté druhy současně
    • Kompletní reakce eliminování zanášení
    • Zajištěna ochrana životního prostředí, zdraví a bezpečnosti
  • Rozsáhly OEM kvalifikační program
  • Nízké náklady na vlastnictví
    • Kontrolované, nízko-efektivní spalování
    • Možnost běhu na komprimovaný suchý vzduch
    • Recirkulace vody zajišťuje snížení využité vody
  • Nástroj pro maximální provozuschopnost
    • Výborná manipulace vysokého prachového objemu
    • Osvědčené, konstrukce odolná proti korozi pro komorní čištění plynů
  • Vylepšená destičková bezpečnost
    • PLC regulované, nástroj koordinace a monitorování celého systému
  • Certifikace třetí stranou
    • SEMI S2, certifikovaný F15, ETL

Oblasti použití

Atlas Kronis je vhodný pro všechny nízké k CVD procesy za pomocí prekurzorů

  • Trimethylsilane (3MS)
  • Tetramethylsilane (4MS)
  • Dimethyldimethoxyorthosilane (DMDMOS)
  • Tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS)
  • Octomethylcyclotetrasiloxane (OMCTS)
Technická data  
Připojení  
Procesní vstupy plynu NW40 nerezová ocel
Bypass výstup NW40 nerezová ocel
Snižování systému výfukového výstupu průměr 75 mm polypropylen
Skříňka extrahování výstupu průměr 150 mm x hloubka 150 mm, lakováno jemnou ocelí
Servisní připojení  
Přívod dusíku 1/2 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod kyslíku 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod suchého stlačeného vzduchu 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod paliva plynu 3/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod chladící vody 25 mm GF union, polypropylene
Zpětný výstup chlazení vody 25 mm GF union, polypropylene
Nahrazení vodního vstupu 25 mm GF union, polypropylene
Kyselé vody kanalizační výstup 25 mm GF union, polypropylene
Elektrické zapojení  
Elektrické napájení kabelové průchodky 32 mm kabelová žláza, vhodná pro  5-žilové dvojité izolované kabely
Zákaznické kabelové připojení leadthroughs 16 mm kabelová žláza
Rozhraní připojení odběratele Šroubové terminály
Požadavky na napájení
 
Dodávky 3-phase 400,220,208,200V, 50/60Hz
1-phase 100V, 50/60Hz
Jmenovitý příkon
1.3kW
Mechanická Data
 
Váha 530kg
  101.5kg (WRU E Model)
  103.5kg (WRU S J Modely)