Atlas TPU

Atlas TPU je celosvětový osvědčený systém a standardní systém snížení v polovodičovém průmyslu pro CVD. Jeden model je vhodný pro všechny CVD a Etch aplikace, oprávnění World Semiconductor Council PFC, snižování emisí musí být splněno. Každý vstup lze individuálně nastavit pro nejvyšší úroveň snižování všech PFC plynů, fluoru (F2) nebo chlortrifluoridu (ClF3).

Charakteristika

  • Nízké náklady na vlastnictví
    • Jednotka recirkulace vody (WRU) zajišťuje snížení využité vody
  • Bezkonkurenční snižování výkonu
    • Nezávisle ověřeno
    • Poskytuje vysoký průtok, vysoký výkon, snížení CF4
    • Schopnost zacházet s velkými průtoky ClF3
  • Robustní výkon
  • Certifikovaný SEMI S2, označení CE a ETL

Oblasti použití

  • TPU může řídit proces výfuku ze čtyřmi CVD nebo etch komorami, a každý vstup může být nezávisle konfigurován pro optimální PFC destrukční výkon.
Technická data  
Připojení  
Procesní vstupy plynu NW40 nerezová ocel
Bypass výstup NW40 nerezová ocel
Snižování systému výfukového výstupu průměr 75 mm polypropylen
Skříňka extrahování výstupu průměr 150 mm x hloubka 150 mm, lakováno jemnou ocelí
Servisní připojení  
Přívod dusíku 1/2 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod kyslíku 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod suchého stlačeného vzduchu 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod paliva plynu 3/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod chladící vody 25 mm GF union, polypropylen
Zpětný výstup chlazení vody 25 mm GF union, polypropylene
Nahrazení vodního vstupu 25 mm GF union, polypropylene
Kyselé vody kanalizační výstup 25 mm GF union, polypropylene
Elektrické zapojení  
Elektrické napájení kabelové průchodky 32 mm kabelová žláza, vhodná pro  5-žilové dvojité izolované kabely
Zákaznické kabelové připojení leadthroughs 16 mm kabelová žláza
Rozhraní připojení odběratele Šroubové terminály
Požadavky na napájení
 
Dodávky 3-phase 400,220,208,200V, 50/60Hz
1-phase 100V, 50/60Hz
Jmenovitý příkon
1.3kW
Mechanická Data
 
Váha 530kg
  101.5kg (WRU E Model)
  103.5kg (WRU S J Modely)