Inline 250

Inline 250 používá dvě vysokokapacitní inline kazety, které maximalizují použití kazety činidla a zvyšuje schopnost Inline 250 o 150% oproti M150.

Technologie použitá v Inline 250 byla prokázána pro poskytnutí největšího snížení výkonu pro všechny suché technologie nebo leptání.

Vysokoteplotní úprava poskytuje trvalé ničení plynu a odstranění halogenů, kyselých plynů a ostatních halogenidových leptáných komponentů. Bezpečně zachází s toxickými organochloridovými vedlejšími účinky, často vyčerpané z leptaných nástrojů.

Charakteristika

  • Nejbezpečnější zacházení s chemickými reakcemi stabilní intertní soli
  • Nejširší sortiment plynného zacházení, od halogenů a kyselin, po ClF3, NF3, C4F8, SF6, atp.
  • Žádná rizika desorpce, jedinečné pro vysokoteplotní systémy
  • Žádný toxický odpad
  • 100% dostupnost s automatickou výměnou
  • Neustálé snižování i při výpadku napájení
  • Integrální vyhřívané vstupní potrubí (možnost), nízká spotřeba energie, nízké obslužné požadavky
Technická data  
Připojení  
Vstup NW40
  4 alternativní polohy
Výstup NW40
  4 alternativní polohy
Kabinový výtah 160mm
  2-3 alternativní poohy
  500m3 / hr
Dusíkový výstup 1/4" Swagelok ®
  4-5 bar gauge
Požadavky na napájení  
Třífázové napájení 380 / 415 3ph 50Hz
  208v 60Hz
  200v 50 / 60Hz
Mechanická data  
Váha 444kg