10ST

Malá iontová vývěva

Technická data  
Váha  4 (9) kg (lbs)
Přepravní váha  8 (17) kg (lbs)
Konečný tlak  méně než 10-11 mbar
Počáteční tlak  1 x 10-3 mbar
Životnost  50,000 hodin @ e-6 mbar
Provozní teplota pece  100°C
Maximální teplota pece  450°C bez magnetů
Rozměry  214 x 131 x 63
 mm, l x w x d