STP-XA4503C

Charakteristika

  • Pokročilá konstrukce rotoru
    • Zvýšená výkonnost Argonu
    • Nejvyšší čerpací rychlost v této třídě
    • Rozsáhle okno fungování
    • Vyšší propustnost při nižším tlaku
    • Bezúdržbový provoz
    • Kompatibní s drsnými procesy
  • 5-osý magnetický závěsný systém
    • Nulová kontaminace
    • Nízké vibrace
    • Vysoká spolehlivost
  • Optimalizované teplotní rozdělení
    • Nízká depozice
    • Vestavěný chladící mechanismus
    • Vyšší průchodnost plynu
    • Zvýšená životnost
  • Certifikace
    • V souladu s mezinárodními bezpečnostními normami
    • Zapsáno v seznamu UL, označení CE a vyhovující SEMI® S2
Technická data  
Velikost vstupní příruby VF300, ISO320F, VG350
Velikost zpětného portu KF40
Rychlost čerpání  
  N2 3800 to 4300 ls-1  (v závislosti na modelu)
  H2 2500 ls-1
Kompresní poměr  
  N2 >108
  H2 6 x 103
Konečný tlak 10-7 Pa / 10-9 mbar
Maximální povolený zpětný tlak 266 Pa / 2.66 mbar
Maximální povolený plynový průtok N2
(Pouze vodou chlazený)
2800 sccm (4.73 Pam3s-1)
Maximální povolený plynový průtok Ar
(Pouze vodou chlazený)
2150 sccm (3.63 Pam3s-1)
Klasifikovaná rychlost 24000 rpm
Čas běhu na 90% klasifikované rychlosti 12 minut
Montážní poloha Jakákoliv orientace
Vodní chlazení  
Průtok 3 lmin-1
Teplota 5 – 25 °C / 41 – 77 °F
Tlak 0.3 MPa
Doporučený průtok plynového očištění N2 50 sccm / 8.4 x 10-2 Pam3s-1
Vstupní napětí 200 – 240 ±10 % V a.c.
Maximální vstupní příkon (bez TMS) 1.5 KVA