Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

STPH301C

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Turbomolekulární vývěvy > STP Turbomolekulární vývěvy > Vysoce propustné vývěvy > STPH301C
STPH301C - Vysoce propustné vývěvy

Vysoce výkonná turbomolekulární vývěva STPH301C byla konstruována pro použití v hrubých polovodičových aplikacích. Vývěvy poskytující spolehlivou a prvotřídní výkonnost, které maximalizuje flexibilitu procesů.

Charakteristika

  • Pokročilá konstrukce rotoru
    • Vyšší propustnost plynu
    • Maximalizovaná flexibilita procesů
    • Bez oleje
    • Nízké vibrace
    • Vysoká spolehlivost
    • Bezúdržový provoz
    • Kompatibilita s drsnými procesy
    • Zvýšená životnost
  • Pokročilá konstrukce kontroléru
    • Automatické ladění
    • Funkce samostatné diagnostiky
    • Střídavý proud řízení motoru
    • Bezbateriový provoz
  • Kompaktní konstrukce
    • Malé rozměry
    • Poloviční držák kontroléru
  • 5-osý magnetický závěsný systém
    • Nulová kontaminace
    • Nízké vibrace
    • Jakákoliv provozní orientace

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlóru, fluoru a chemického brómu) pro kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PEVCD, ECRCVD, MOCVD
  • Pokovování
  • MBE
  • Difúze
Technická data  
Vstupní příruba ISO100K
Výstupní připojení KF40
Plynové připojení KF10
Instalace vodního chlazení PT1/4
Čerpací rychlost  
N2 300 ls-1
H2 200 ls-1
Kompresní poměr  
N2 >108
H2 103
Konečný tlak (with bake out heating) 10-7 Pa (10-9 Torr)
Maximální trvalý výstupní tlak 660 Pa (5 Torr)
Maximální propustnost dusíku 2500 sccm
Klasifikovaná rychlost 48000 rpm
Čas spuštění 4 min
Maximální teplota vstupní příruby 120 °C
Vstupní napětí 100 - 120 (± 10) V a.c. or
  200 - 240 (± 10) V a.c.
Spotřeba energie 0.6 kVA
Váha vývěvy 15 kg
Váha kontroléru 9 kg