Spectra Z

Systém Spectra-Z je nákladově efektivní, spolehlivé, vysoce výkonné výfukové zpracovatelské řešení pro nejnovější ploché monitory (FPD) a výrobní procesy solárních článků.

Charakteristika

  • Vysoké snížení výkonu
    • Schopnost zpracovávat plyny z FPD generace procesních nástrojů 8+
    • Efektivní snižování depozic a čištění plynů komor
  • Osvědčená vyšší spolehlivost
    • Systém odolný proti korozi
    • Vynikající prachová manipulace pro vysoký průtok silan aplikací
    • Vysoká doba provozuschopnosti, osvědčená v hlavních FPD a provozech solárních článků po celém světě
  • Řízení rizik
    • Spalování hořlavých plynů
    • Vzduchem chlazená konstrukce, jako standard
  • Nízké náklady na vlastnictví
    • Minimální spotřeba plynu v celém procesu snižování plynu
    • Až šest provozních plynových vstupů
    • Není požádadována voda nebo kyslík
    • Nízká spotřeba energie
    • Nízký spotřeba dusíku
    • Verze o kapacitě 800 a 3000 slm

Oblasti použití

  • Systém Spectra-Z je nákladově efektivní, spolehlivé, vysoce výkonné výfukové zpracovatelské řešení pro nejnovější ploché monitory (FPD) a výrobní procesy solárních článků.
  Spectra-Z 800 Spectra-Z 3000
Maximální průtok plynu 800 slm 3000 slm
Počet vstupních portů 1 až 6 1 až 6
Elektrické napájení 200-208 VAC 3-phase 200-208 VAC 3-phase
Frekvence 50/60 Hz 50/60 Hz
Spotřeba energie 4 kW 6 kW
Vstupní tlak dodávky dusíku 6-8 bar 6-8 bar
Vstupní tlak dodávky plynu 137 mbar (2 psi) 137 mbar (2 psi)
Extrahová průtoková rychlost 60 Nm 3/min 180 Nm3/min
Váha 850 Kg 1,450 Kg