3S

Malá iontová vývěva

Technická data  
Váha 0.35 (0.8) kg (lbs)
Přepravní váha 3.5 (7.7) kg (lbs)
Konečný tlak méně než 10-11 mbar
Počáteční tlak  1 x 10-3 mbar
Životnost  50,000 hodin @ e-6 mbar
Provozní teplota pece  95°C s magnety
Maximální teplota pece  450°C bez magnetů
Rozměry  138 x 41 x 50
 mm, l x w x d