iXL120

iXL120 je kompaktní suchoběžná vývěva (110m3h-1), s nízkou spotřebou energie, určená pro "wafer" manipulaci a další čisté aplikace. Poskytuje rychlé vyčerpání "load lock" komor s extrémně nízkou spotřebou energie.

Charakteristika

  • Prvotřídní čas vyčerpání komory snižuje celkový průměrný čas cyklu (TACT)
  • Spotřeba energie pouze 0.55 kW, pomáhá minimalizovat náklady zákazníků na vlastnictví
  • Zelený mód může snížit spotřebu energie až o 92% během nečinnosti
  • Extrémně malé a lehké, což pomáhá šetřit cenný pracovní prostor
  • Olejová, přesná ložiska zajišťují hladký chod, nízké vibrace, bez běžné údržby
  • Unikátní dvojí vstupní uspořádání umožňuje efektivní "foreline routing" a možnosti umístění
  • Žádná možnost proplachování dusíkem, eliminuje potřebu pro dodávku dusíku, šetří instalační a provozní náklady
Technická data  
Špičková rychlost 110 m3h-1
  65 cfm
  1833 lmin-1
Konečný tlak (typický) 0.013 mbar
  0.009 Torr
  1.3 Pa
Konečný výkon 0.55 kW
Výkon v "Green módu" 0.045 kW
Vstupní připojení  
Vertikální ISO63
Horizontální NW50
Výstupní připojení NW25
Připojení chlazení vody Volitelné
Vodní průtok 1 lmin-1
Váha 59 kg