EH250FX

Mechanická booster vývěva EH je založena na jednoduchém Roots principu. Zůstává oblíbenou vývěvou pro aplikace, kde je vyžadována vysoká rychlost čerpání, pro tlaky v oblasti 0,01 až 10 mbar. Tato vývěva musí být vždy doprovázena další vývěvou, která může dodávat proti rozdílům vysokého tlaku na atmosférický tlak.

Vývěva EH250FX se dodává pro použití s PFPE oleji. To umožňuje jejich použití v náročných (korozivních) procesech nebo kde přítomnost kyslíku bude mít za následek rychlou degradaci uhlovodíkových olejů. Fomblin® je nutné zakoupit zvlášť pro vývěvy PFPE.

Edwards doporučuje, aby vývěvy EH250FX nepracovali nepřetržitě v tlacích >10 mbar.

Charakteristika

  • Vhodné pro aplikace, kde vysoká rychlost čerpání přesahuje 3000 m3h-1 / 1776 ft3min-1. Vyžadováno v oblasti tlaku od 0,01 do 50 mbar / 0,0075 - 37,5 Torr
  • Pracuje při relativně nízkých tlacích, což ji tvoří velmi spolehlivou.
  • Vývěvy EH mají vysokou kvalitu, suchoběžný čerpací mechanismus. To nabízí:
    • Tichý provoz bez vibrací
    • Robustnost a odolnost proti korozi
    • Rozšířené technologie těsnění hřídele, bez znečištění olejem z procesní komory
  • Čerpací mechanismus odolný proti korozi je vyroben z vysoce kvalitní litiny
  • Osvědčené uspořádání těsnění hřídele zajišťuje, že žádný olej nevstupuje do čerpacího statoru a absence vnitřních a vnitřních by-pass linek a ventilů, které mohou korodovat nebo lepit. Minimalizují se nároky na údržbu.
  • Konstrukce těsnění hřídele je optimalizována tak, aby zajistila, že žádná maziva nemohou migrovat uvnitř čerpacího mechanismu. To udržuje výkon booster vývěvy v aplikacích, které vyžadují nejvyšší standard čistoty. Navíc, to zabrání nahromadění zachycených částic na laloky rotoru a koncové plochy, které mají velmi uzavřené tolerance.
  • Dynamicky vyvážené rotory a přesně broušená ozubená kola přispívají k hladkému, tichému provozu vývěv, jak požadují výrobci pokročilých technologií.

Oblasti použití

  • Polovodičové procesy
  • Vakuová destilace
  • Vakuové balení
  • Ocelové odplynění
  • Potahování tenkých vrstev
  • Vakuová metalurgie
  • Nízká hustota větrných tunelů
  • Prostorová simulace
  • Vakuová impregnace
  • Olejové sušení a odplynění
  • Farmaceutické sušení mrazem
  • CO2 lasery
Technická data  
Maximální výkon  
 50Hz 310 m3h-1 / 185 ft3min-1
 60Hz 375 m3h-1 / 220 ft3min-1
Efektivní rychlost čerpání se zazpětňovací vývěvou  
 E2M40 240 m3h-1 / 141 ft3min-1
 E2M80 274 m3h-1 / 161 ft3min-1
Rozdílný tlak napříč vývěvou  
 50Hz 0-180 mbar / 0-140 Torr
 60Hz 0-150 mbar / 0-115 Torr
Vstupní připojení ISO63
Výstupní připojení ISO40
Otáčky ‡  
  50Hz 0-2900 rpm
  60Hz 0-3500 rpm
Provozní kontinuální vstupní tlak 0-1000 mbar / 0-760 Torr
Maximální výstupní tlak 1000 mbar / 760 Torr
Doporučená zazpětňovací vývěva GV80, E2M40, E2M80, ES100, 212J
Výkon motoru  
 Uhlovodík 2.2 kW / 3 hp
 PFPE 2.2 kW / 3 hp
 ATEX 2.2 kW
Odolnost proti explozi 3 hp
Rozsah okolní teploty  
Provoz 5 až 40°C / 40 až 104°F
 Skladování -10 až 80°C / 14 až 176°F
Maximální provozní vlhkost 90% RH
Doporučený olej Ultragrade 20
Kapacita oleje  
Propojení plášťě 1.5 l
Nádrž těsnění hřídele 0.125 l
Váha 75 kg