STPA1303C

Turbomolekulární vývěva STPA1303C je konstruována pro použití v polovodičovém průmyslu. Pokročilá technologie rotoru poskytuje prvotřídní výkonnost pro maximální flexibilitu procesu.

Charakteristika

  • Pokročilá konstrukce rotoru
    • Vyšší propustnost plynu
    • Maximalizovaná flexibilita procesů
    • Bez oleje
    • Nízké vibrace
    • Vysoká spolehlivost
    • Bezúdržový provoz
    • Kompatibilita s drsnými procesy
    • Zvýšená životnost
  • Pokročilá konstrukce kontroléru
    • Automatické ladění
    • Funkce samostatné diagnostiky
    • Střídavý proud řízení motoru
    • Bezbateriový provoz
  • Kompaktní konstrukce
    • Malé rozměry
    • Poloviční držák kontroléru

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlóru, fluoru a chemického brómu) pro kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PEVCD, ECRCVD, MOCVD
  • Pokovování
  • MBE
  • Difúze
Technická data  
Vstupní příruba ISO200F
Výstupní připojení KF40
Plynové připojení KF10
Instalace vodního chlazení PT1/4
Čerpací rychlost  
N2 1300 ls-1
H2 800 ls-1
Kompresní poměr  
N2 >108
H2 103
Konečný tlak (with bake out heating) 10-7 Pa (10-9 Torr)
Maximální trvalý výstupní tlak* 270 Pa (2 Torr)
Maximální propustnost dusíku* 1500 sccm
Klasifikovaná rychlost 32500 rpm
Čas spuštění 7 min
Maximální teplota vstupní příruby 120 °C
Vstupní napětí 200 - 240 (± 10) V a.c.
Spotřeba energie 0.85 kVA
Váha vývěvy 39 kg
Váha kontroléru 9 kg


* vodní chlazení