Charakteristika

• MTTF až 5000000 cyklů
• Řízené zastavení vývěvy k porovnání procesů
• Hliníková těla
• 100% vakuum zbavené mastnoty
• Rychlé ventily v případě výpadku proudu
• Vlnovcové pro čistý provoz
• Snadný servis s výměnitelnými otvory
• Dodáván s 5 mm, 6mm a 7mm výměnnými otvory
• Teplota až 100°C, aby se zabránilo kondenzaci procesními plyny

Oblasti použití

• Když je "slave" ventil otevřen průtoku plynu při pomalém tempu mezi oběma stranami ventilu, prostřednictvím výměnných otvorů umožňující pomalé čerpání. Po dovršení tlaku, požadovaného uživatelem, je hlavní ventil otevřen pomocí signálu zadaného uživatelem, umožňující plné vrtné čerpání.
• Vlnovcové ventily jsou jednočinné s pneumatickým otevřením a pružovým uzavřením.
• Jsou dodávny se třemi vyměnitelnými otvory umožňujícími čerpací vlastnosti odpovídající Vašim procesům.
• Mikrospínač je dodáván jako standard pro indikaci stavu ventilu. Ventil a mikrospínač můžou být zahřáty na 100°C pro urychlení odplynění a zabránění procesu kondenzace plynu uvnitř ventilu.
• Zatímco konstrukce je primárně pro polovodičový průmysl, ventil může být použit i v dalších aplikacích vyžadující řízené odčerpávání.

*  S volitelnou kontrolou ventilu

• SIPVP Soft Start Valves Instruction Manual (pdf, 1618KB)