SIPV40P, pneumatický, vlnovcový ventil

C41644000

Mírný-start, pneumaticky ovládané ventily s vyměnitelnými otvory pro řízené odčerpání procesů, kde turbulentní tok může způsobit problémy s částicovým znečištěním.

Charakteristika

  • MTTF až 5000000 cyklů
  • Řízené zastavení vývěvy k porovnání procesů
  • Hliníková těla
  • 100% vakuum zbavené mastnoty
  • Rychlé ventily v případě výpadku proudu
  • Vlnovcové pro čistý provoz
  • Snadný servis s výměnitelnými otvory
  • Dodáván s 5 mm, 6mm a 7mm výměnnými otvory
  • Teplota až 100°C, aby se zabránilo kondenzaci procesními plyny

Oblasti použití

  • Když je "slave" ventil otevřen průtoku plynu při pomalém tempu mezi oběma stranami ventilu, prostřednictvím výměnných otvorů umožňující pomalé čerpání. Po dovršení tlaku, požadovaného uživatelem, je hlavní ventil otevřen pomocí signálu zadaného uživatelem, umožňující plné vrtné čerpání.
  • Vlnovcové ventily jsou jednočinné s pneumatickým otevřením a pružovým uzavřením.
  • Jsou dodávny se třemi vyměnitelnými otvory umožňujícími čerpací vlastnosti odpovídající Vašim procesům.
  • Mikrospínač je dodáván jako standard pro indikaci stavu ventilu. Ventil a mikrospínač můžou být zahřáty na 100°C pro urychlení odplynění a zabránění procesu kondenzace plynu uvnitř ventilu.
  • Zatímco konstrukce je primárně pro polovodičový průmysl, ventil může být použit i v dalších aplikacích vyžadující řízené odčerpávání.
Technická data
 
Typ ovládání ventilu
Jednočinné, pneumaticky otevřené, pružinově uzavřené
Rozsah tlaku 1 x 10-9 - 2100 mbar
  8 x 10-10 až 1575 Torr
Maximální rozdílný tlak  
Otevírání 1000 mbar / 750 Torr
Zavírání 2100 mbar / 1575 Torr
Únik 10-9 mbar ls- 1
  10-10 Torr ls- 1
Pneumatický konektor Rp 1/8 ( 1/8 inch BSP)*
Pneumatický tlak 2.8 - 4.2 bar / 41 - 61 psi
Elektrický indikátor Jednoduchý mikrospínač
Elektrické napětí mikrospínače 24 V, 1.5 A a.c. nebo d.c.
Maximální frekvence cyklu 900 h-1
Spolehlivost měchů, MTTF 5000000 cyklů
Okolní provozní teplota 5 - 100 °C
Maximální teplota 100 °C
Konstrukční materiály HE30TF hliník
O-kroužek Fluoroelastomer
Čas otevření/zavření při 4 bar (ms) SIPV40P
Slave ventil 60/20
Hlavní ventil 50/155
Váha (g / oz)  
SIPV40P 1760 / 62


*  S volitelnou kontrolou ventilu