Malá a výkonná turbomolekulární vývěva STPA1603C byla konstruována za použití vyspělé technologie rotoru. To poskytuje vysokou propustnost, maximální spolehlivost a vedoucí třídu výkonnosti, která je požadována v nejnovějších výrobách polovodičového průmyslu.
Technická data | |
Vstupní příruba | ISO200F |
Výstupní připojení | KF40 |
Plynové připojení | KF16 |
Instalace vodního chlazení | PT1/4 |
Čerpací rychlost | |
N2 | 1600 ls-1 |
H2 | 1200 ls-1 |
Kompresní poměr | |
N2 | >108 |
H2 | >7 x 103 |
Konečný tlak (with bake out heating) | 10-7 Pa |
Maximální povolený zpětný tlak | 266 Pa (2 Torr) |
Maximální propustnost dusíku | 2500 sccm |
Klasifikovaná rychlost | 36500 rpm |
Čas spuštění | 7 min |
Montážní poloha | Jakákoliv orientace |
Průtok vodního chlazení | 2 lmin-1 |
Teplota | 5-25 °C |
Tlak | 0.3 MPa |
Doporučený průtok plynového očištění | 20 sccm |
Vstupní napětí | 200 to 240 (± 10) V a.c. |
Spotřeba energie | 0.85 kVA |
Váha vývěvy | 35 kg |
Váha kontroléru | 9 kg |