Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

STPA1603C

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Turbomolekulární vývěvy > STP Turbomolekulární vývěvy > Pokročilé vysoce propustné vývěvy > STPA1603C
STPA1603C - Pokročilé vysoce propustné vývěvy

Malá a výkonná turbomolekulární vývěva STPA1603C byla konstruována za použití vyspělé technologie rotoru. To poskytuje vysokou propustnost, maximální spolehlivost a vedoucí třídu výkonnosti, která je požadována v nejnovějších výrobách polovodičového průmyslu.

Charakteristika

  • Pokročilá konstrukce rotoru
    • Zvýšená výkonnost 
    • Vyšší propustnost plynu
    • Vysoká spolehlivost
    • Bezúdržbový provoz
    • Kompatibilita s drsnými procesy
  • 5-osý magnetický závěsný systém
    • Nulová kontaminace
    • Nízké vibrace
  • Odolné proti korozi
    • Kompatibilita s drsnými procesy
    • Zvýšená životnost
  • Kompaktní konstrukce
    • Malé rozměry
    • Poloviční držák kontroléru
  • Pokročilá konstrukce kontroléru
    • Automatické ladění
    • Funkce samostatné diagnostiky
    • Střídavý proud řízení motoru
    • Bezbateriový provoz

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlórů, fluoru a chemického brómu) pro  kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
  • Pokovování
  • MBE
  • Difúze
Technická data  
Vstupní příruba ISO200F
Výstupní připojení KF40
Plynové připojení KF16
Instalace vodního chlazení PT1/4
Čerpací rychlost  
N2 1600 ls-1
H2 1200 ls-1
Kompresní poměr  
N2 >108
H2 >7 x 103
Konečný tlak (with bake out heating) 10-7 Pa
Maximální povolený zpětný tlak 266 Pa (2 Torr)
Maximální propustnost dusíku 2500 sccm
Klasifikovaná rychlost 36500 rpm
Čas spuštění 7 min
Montážní poloha Jakákoliv orientace
Průtok vodního chlazení 2 lmin-1
Teplota 5-25 °C
Tlak 0.3 MPa
Doporučený průtok plynového očištění 20 sccm
Vstupní napětí 200 to 240 (± 10) V a.c.
Spotřeba energie 0.85 kVA
Váha vývěvy 35 kg
Váha kontroléru 9 kg