Vysoce výkonná turbomolekulární vývěva STPH451C byla konstruována pro použití v nejtvrdších polovodičových aplikacích. Vývěvy poskytující spolehlivou a prvotřídní výkonnost, která maximalizuje flexibilitu procesů.
Technická data | |
Vstupní příruba | ISO160K |
Výstupní připojení | KF40 |
Plynové připojení | KF10 |
Instalace vodního chlazení | PT1/4 |
Čerpací rychlost | |
N2 | 450 ls-1 |
H2 | 300 ls-1 |
Kompresní poměr | |
N2 | >108 |
H2 | 103 |
Konečný tlak (with bake out heating) | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
Maximální trvalý výstupní tlak | 660 Pa (5 Torr) |
Maximální propustnost dusíku | 2500 sccm |
Klasifikovaná rychlost | 48000 rpm |
Čas spuštění | 4 min |
Maximální teplota vstupní příruby | 120 °C |
Vstupní napětí | 100 - 120 (± 10) V a.c. or |
200 - 240 (± 10) V a.c. | |
Spotřeba energie | 0.6 kVA |
Váha vývěvy | 15 kg |
Váha kontroléru | 9 kg |