Charakteristika

• Snížené náklady na vlastnictví
• Až 50 % snížení nákladů na vybavení, v porovnání iL / iH suchoběžných vývěv
• Žádná preventivní údržba
• Flexibilní možnosti instalace
• Malé a lehké pro snadnou instalaci
• On-tool, Blízkost uzavření nebo dálkové ovládání
• Možné vylepšení nástrojů výrobní kapacity
• K dispozici jedny z nejrychlejších loadlock vývěv
• Konzistentní čerpací výkon - globálně
• Čerpací rychlost totožná při 50 a 60 Hz
• Snížení okolního hluku
• Pouze 55 dB(A)
• Široká škála maximální rychlosti
• 100, 300, 600 a 800 m³h^-1

Oblasti použití

• Load Lock
• Přenos
• Metrologie
• Litografie
• PVD procesy
• PVD předčištění
• RTA
• Leptání - oxid
• Leptání - kov

* Vyžaduje neustále příslušenství ventilu průtoku
** Dusík může být manuálně nastavený na maximální průtok 39slm

• GX Next Generation Dry Pumps (pdf, 588KB)