GX1000N

Suchoběžné vývěvy GX stanovují nové standardy pro bezúdržbový provoz mezi hlavními generálními opravami. Zvýšená výkonnost snižuje náklady na vlastnictví a zajišťuje nepřetržité čerpání v celém rozsahu tlaku.

Charakteristika

  • Snížené náklady na vlastnictví
    • Až 50 % snížení nákladů na vybavení, v porovnání iL / iH suchoběžných vývěv
    • Žádná preventivní údržba
  • Flexibilní možnosti instalace
    • Malé a lehké pro snadnou instalaci
    • On-tool, Blízkost uzavření nebo dálkové ovládání
  • Možné vylepšení nástrojů výrobní kapacity
    • K dispozici jedny z nejrychlejších loadlock vývěv
  • Konzistentní čerpací výkon - globálně
    • Čerpací rychlost totožná při 50 a 60 Hz
  • Snížení okolního hluku
    • Pouze 55 dB(A)
  • Široká škála maximální rychlosti
    • 100, 300, 600 a 800 m3h-1

Oblasti použití

  • Load Lock
  • Přenos
  • Metrologie
  • Litografie
  • PVD procesy
  • PVD předčištění
  • RTA
  • Leptání - oxid
  • Leptání - kov
Technická data  
Výkonnost  
Špičková rychlost 800 m3h-1
  471 ft3min-1
  13333 lmin-1
Konečný tlak 1 x 10-3 mbar
  7.5 x 10-4 Torr
  0.10 Pa
Příkon při 700 Torr výfuk  
Konečný 1.6 kW
AUC (Pohyblivý utility kontrolér) 1.05 kW
Voda *  
Vodní vstup 2 slm
Dusík 4 nebo 14 slm **
Detaily instalace  
Rozměry (vyjma výfuku) 0.20 m2
Váha 230 kg
Vstupní připojení ISO 100
Výstupní připojení NW25


* Vyžaduje neustále příslušenství ventilu průtoku
** Dusík může být manuálně nastavený na maximální průtok 39slm