Kontaktní formulář
SIPV25P, pneumatický, vlnovcový ventil
Mírný-start, pneumaticky ovládané ventily s vyměnitelnými otvory pro řízené odčerpání procesů, kde turbulentní tok může způsobit problémy s částicovým znečištěním.
Kombinace slave a hlavního ventilu umožňuje pomalé počáteční čerpání, aby se minimalizovalo rušení. Slave a hlavní ventil vyžadují samostatné pneumatické spojení.
Charakteristika
- MTTF až 5000000 cyklů
- Řízené zastavení vývěvy k porovnání procesů
- Hliníková těla
- Rychlé ventily v případě výpadku proudu
- Snadný servis s výměnitelnými otvory
- Vlnovcové pro čistý provoz
- Dodáván s 5 mm, 6mm a 7mm výměnnými otvory
- Teplota až 100°C, aby se zabránilo kondenzaci procesními plyny
Oblasti použití
- Když je "slave" ventil otevřen průtoku plynu při pomalém tempu mezi oběma stranami ventilu, prostřednictvím výměnných otvorů umožňující pomalé čerpání. Po dovršení tlaku, požadovaného uživatelem, je hlavní ventil otevřen pomocí signálu zadaného uživatelem, umožňující plné vrtné čerpání.
- Vlnovcové ventily jsou jednočinné s pneumatickým otevřením a pružovým uzavřením.
- Jsou dodávny se třemi vyměnitelnými otvory umožňujícími čerpací vlastnosti odpovídající Vašim procesům.
- Mikrospínač je dodáván jako standard pro indikaci stavu ventilu. Ventil a mikrospínač můžou být zahřáty na 100°C pro urychlení odplynění a zabránění procesu kondenzace plynu uvnitř ventilu.
- Zatímco konstrukce je primárně pro polovodičový průmysl, ventil může být použit i v dalších aplikacích vyžadující řízené odčerpávání.
|
Technická data
|
|
|
Typ ovládání ventilu
|
Jednočinné, pneumaticky otevřené, pružinově uzavřené |
| Rozsah tlaku | 1 x 10-9 až 2100 mbar |
| 8 x 10-10 až 1575 Torr | |
| Maximální rozdílný tlak | |
| Otevírání | 1000 mbar / 750 Torr |
| Zavírání | 2100 mbar / 1575 Torr |
| Únik | 10-9 mbar ls- 1 |
| 10-10 Torr ls- 1 | |
| Pneumatický konektor | Rp 1/8 ( 1/8 inch BSP)* |
| Pneumatický tlak | 2.8 až 4.2 bar / 41 až 61 psi |
| Elektrický indikátor | Jednoduchý mikrospínač |
| Elektrické napětí mikrospínače | 24 V, 1.5 A a.c. or d.c. |
| Maximální frekvence cyklu | 900 h-1 |
| Spolehlivost měchů, MTTF | 5000000 cyklů |
| Okolní provozní teplota | 5 - 100 °C |
| Maximální teplota | 100 °C |
| Konstrukční materiály | HE30TF hliník |
| O-kroužek | Fluoroelastomer |
| Čas otevření/zavření při 4 bar (ms) | SIPV25P |
| Slave ventil | 60/20 |
| Hlavní ventil | 15/41 |
| Váha (g / oz) | |
| SIPV25P | 920 / 32 |
* S volitelnou kontrolou ventilu
- SIPVP Soft Start Valves Instruction Manual (pdf, 1618KB)