Turbomolekulární vývěvy nEXT85 staví na úspěchu vývěv EXT75DX. Jedná se o vývěvy se značně vylepšeným výkonem v menším provedení.
nEXT85D NW40 |
nEXT85H NW40 |
nEXT85D ISO63 |
nEXT85H ISO63 |
nEXT85D CF63 |
nEXT85H CF63 |
nEXT85D ISO100 |
nEXT85H ISO100 |
|
Hlavní rychlost čerpání | ||||||||
N2 ls-1 | 47 | 47 | 84 | 84 | 84 | 84 | 86 | 86 |
He ls-1 | 61 | 61 | 78 | 78 | 78 | 78 | 80 | 78 |
H2 ls-1 | 49 | 44 | 60 | 54 | 60 | 54 | 60 | 54 |
Ar ls-1 | 44 | 44 | 80 | 80 | 80 | 80 | 84 | 84 |
Špičkový poměr komprese od zadního portu k hlavnímu vstupnímu portu | ||||||||
N2 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 |
He | 8x106 | 2x107 | 8x106 | 2x107 | 8x106 | 2x107 | 8x106 | 2x107 |
H2 | 2x105 | 2x105 | 2x105 | 2x105 | 2x105 | 2x105 | 2x105 | 2x105 |
Ar | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 | >1011 |
Konečný tlak (mbar) | <5x10-9 | <5x10-9 | <5x10-9 | <5x10-9 | <5x10-10 | <5x10-10 | <5x10-9 | <5x10-9 |
Hmotnost | 2,9 kg | 2,9 kg | 3,0 kg | 3,0 kg | 4,4 kg | 4,4 kg | 3,2 kg | 3,2 kg |