Spectra-G je nákladově efektivní, vysoce výkonné výfukové zpracovatelské řešení pro výrobu nitridu MOCVD.
Technická data | |
Maximální průtok plynu | 800 slm |
Počet vstupních portů | 1 až 6 |
Elektrické napájení | 200-208 VAC 3-phase |
Frekvence | 50/60 Hz |
Spotřeba energie | 4 kW |
Vstupní tlak dodávky dusíku | 7 bar |
Vstupní tlak dodávky plynu | 137 mbar (2 psi) |
Extrahová průtoková rychlost | 60 Nm 3/min |
Váha | 850 Kg |