Spectra-G

Spectra-G je nákladově efektivní, vysoce výkonné výfukové zpracovatelské řešení pro výrobu nitridu MOCVD.

Charakteristika

  • Vysoké snížení výkonu
    • Schopnost zpracovávat všechny výfukové plyny z více výrobních nástrojů MOCVD
    • Unikátní spalovací technologie umožňuje snižování NH3 a minimalizují emise NOx
  • Osvědčená vyšší spolehlivost
    • Vynikající prachová manipulace pro aplikace s vysokou propustností
    • Vysoká doba provozuschopnosti, osvědčená v předních nitridových MOCVD výrobních provozech
    • Osvědčený na všech předních OEM aplikacích
  • Řízení rizik
    • Spalování všech hořlavých plynů
    • Vzduchem chlazená konstrukce, jako standard
  • Nízké náklady na vlastnictví
    • Minimální spotřeba plynu v celém procesu snižování plynu
    • Až šest provozních plynových vstupů
    • Možnosti alternativního paliva
    • Není požádadována voda nebo kyslík
    • Nízká spotřeba energie
    • Nízký spotřeba dusíku
    • Verze o kapacitě 800 slm
    • Vnitřní i venkovní instalace
Technická data  
Maximální průtok plynu 800 slm
Počet vstupních portů 1 až 6
Elektrické napájení 200-208 VAC 3-phase
Frekvence 50/60 Hz
Spotřeba energie 4 kW
Vstupní tlak dodávky dusíku 7 bar
Vstupní tlak dodávky plynu 137 mbar (2 psi)
Extrahová průtoková rychlost 60 Nm 3/min
Váha 850 Kg