Hot cathode / Pirani, 1000-5e-10 mbar, metal sealed, DN40CF

VSH89D

The digital combination vacuum transducer VSH (Pirani/hot cathode) measures absolute pressure from atmospheric pressure to ultrahigh vacuum.

Principy měření Kombinované senzory, Bayard Alpert/Hot Cathode
Závislost na plynu závislý na typu plynu
Rozsah měření mbar 1000 - 5e-10 mbar
Rozsah měření Torr 750 – 5.0e-10 Torr
Rozsah měření Torr 750 - 5.0e-10 Torr
Max., Přetlaková odolnost 4 bar abs.
Přesnost 1000 … 10 mbar: ca. 30 % f. r. | 10 … 1e-8 mbar: 10 % f. r.
Doba odezvy 50 ms (switching of emission current
Opakovatelnost 10 – 1e-2 mbar: 2 % f. r. | 1e-2 – 1e-8 mbar: 5% f. r.
Materiály, které jsou v kontaktu s vakuem Stainl. steel 1.4307, tungsten, nickel, glass, platinum, iridium, yttria oxide
Provozní teplota +5…+60 °C
Skladovací teplota -40…+65 °C
Napájecí napětí 20 – 30 VDC
Sériové rozhraní RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity
Elektrické připojení SubD 15pole, male
Číslo výrobku (volba vakuového připojení) DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 CF-F (VSH89), DN 40 ISO-KF (VSH88)
Rozměry 141 x 69 x 48 mm (VSH88)
Třída ochrany IP40, IP54 mit connector XB15SL05
Hmotnost (kg) 475 g (VSH88)
Výstupní signal SL 0 – 10 VDC, min. 10 kΩ, measuring range 1,219 – 8,6 VDC, log. except EtherCAT, Profinet
Sériové rozhraní RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity
Spínací výstup 2x relay, pot. free, 50 VAC / 2 Aor 30 VDC / 2 A, max. 60 VA, except EtherCAT and Profinet
Elektrické připojení SubD 15pole, male
Teplota pro vypékání Max. 180°C at the flange (voltage supply switched-off)
Vlákna / anody Yttria coated iridium
Emisní proud 9 μA, 100 μA, 1.0 mA, 2,0 mA
Metoda odplynění Ohmic heating of the anode
Kategorie Vakuový převodník
Výstupní signál 0-10 V
Sériová rozhraní RS485