Inline 250 používá dvě vysokokapacitní inline kazety, které maximalizují použití kazety činidla a zvyšuje schopnost Inline 250 o 150% oproti M150.
Technologie použitá v Inline 250 byla prokázána pro poskytnutí největšího snížení výkonu pro všechny suché technologie nebo leptání.
Vysokoteplotní úprava poskytuje trvalé ničení plynu a odstranění halogenů, kyselých plynů a ostatních halogenidových leptáných komponentů. Bezpečně zachází s toxickými organochloridovými vedlejšími účinky, často vyčerpané z leptaných nástrojů.
Technická data | |
Připojení | |
Vstup | NW40 |
4 alternativní polohy | |
Výstup | NW40 |
4 alternativní polohy | |
Kabinový výtah | 160mm |
2-3 alternativní poohy | |
500m3 / hr | |
Dusíkový výstup | 1/4" Swagelok ® |
4-5 bar gauge | |
Požadavky na napájení | |
Třífázové napájení | 380 / 415 3ph 50Hz |
208v 60Hz | |
200v 50 / 60Hz | |
Mechanická data | |
Váha | 444kg |