Inline 250 používá dvě vysokokapacitní inline kazety, které maximalizují použití kazety činidla a zvyšuje schopnost Inline 250 o 150% oproti M150.
Technologie použitá v Inline 250 byla prokázána pro poskytnutí největšího snížení výkonu pro všechny suché technologie nebo leptání.
Vysokoteplotní úprava poskytuje trvalé ničení plynu a odstranění halogenů, kyselých plynů a ostatních halogenidových leptáných komponentů. Bezpečně zachází s toxickými organochloridovými vedlejšími účinky, často vyčerpané z leptaných nástrojů.
| Technická data | |
| Připojení | |
| Vstup | NW40 |
| 4 alternativní polohy | |
| Výstup | NW40 |
| 4 alternativní polohy | |
| Kabinový výtah | 160mm |
| 2-3 alternativní poohy | |
| 500m3 / hr | |
| Dusíkový výstup | 1/4" Swagelok ® |
| 4-5 bar gauge | |
| Požadavky na napájení | |
| Třífázové napájení | 380 / 415 3ph 50Hz |
| 208v 60Hz | |
| 200v 50 / 60Hz | |
| Mechanická data | |
| Váha | 444kg |