HOx – Horké oxidační systémy

Horké oxidační systémy (HOx) nabízí výrazný pokrok ve výkonu ne-palivových oxidačních technologií. Zaměřené na CVD aplikace, systém zajišťuje bezpečné odstranění pyroforických plynů, pod hořlavými limity a efektivní zacházení s dalšími kyselými produkty, aby se zabránilo korozi výfukového potrubí.

Charakteristika

  • Nízké kapitálové náklady
  • Nízké náklady na vlastnictví
    • Bez paliva
    • Nízké využití vody
    • Nízká spotřeba
    • Malé rozměry
  • Rozšířené zabezpečení
    • PLC řízení
    • Monitorování celého systému
    • Nástrojové rozhraní
    • Vyhovující SEMI S2-93
  • Vynikající konstrukce
    • Vysoký výkon
  • Až 4 nezávislé samočistící vstupy.
  • Jedinečná konstrukce oxidační komory zvyšuje destrukční efektivitu při minimalizaci částicových depozic.
  • Neobvyklá konstrukce na posuvné platformě poskytuje snadnou údržbu, což má za následek nižší nároky na údržbu, ve srovnání s konkurenčními jednotkami.
  • Integrální bypass ventily, které jsou k dispozici jako volitelné extra funkce.
  • K dispozici integrální vodní recirkulační jednotka, jako volitelná extra funkce pro minimalizování užitkové spotřeby a COO.

Oblasti použití

Ideální pro většinu CVD aplikací včetně:

  • PECVD TEOS, BPSG, Oxide
  • PECVD Nitride
  • Tungsten CVD
  • LPCVD
Technická data  
Připojení  
Procesní vstupy plynu NW40 SS, 4 vstupy
Výfukový výstup 75mm flexibilní měchy
Přívod dusíku 1/4" Swagelok ®
  Nerezová ocel 4-6 bar gauge
Voda 3/4" bore PVC Pipe
PCW 3/4" bore PVC Pipe
(Vodní recirkulační jednotka)  
Požadavky na napájení  
Dodávky Třífázové 415/380v, 50Hz
nebo Třífázové 208v, 50/60Hz
Spotřeba Nominalní 5kW
Mechanická data  
Rozměry 1300x600x1835mm
Hmotnost 400kg