75S

Malá iontová vývěva

Technická data  
Váha  20 (44) kg (lbs)
Přepravní váha  23 (50) kg (lbs)
Konečný tlak  méně než 10-11 mbar
Počáteční tlak  1 x 10-3 mbar
Životnost  50,000 hodin @ e-6 mbar
Provozní teplota pece  250°C
Maximální teplota pece  450°C bez magnetů
Rozměry  277 x 242 x 130
 mm, l x w x d