Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

STP-XA3203C

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Turbomolekulární vývěvy > STP Turbomolekulární vývěvy > Vývěvy s vysokým průtokem a propustností > STP-XA3203C
STP-XA3203C - Vývěvy s vysokým průtokem a propustností

Turbomolekulární vývěva STP-XA3203C poskytuje vysokou výkonnost v procesech v rozsahu od vysokého vakua po procesní průtok 2300 sccm, s vylepšenou propustností pro všechny plyny.

Charakteristika

  • Pokročilá konstrukce rotoru
    • Zvýšená výkonnost H2, N2 a Argonu
    • Zlepšená výkonnost v úrovni procesních tlaků vysokého vakua až 2300 sccm
    • Bezúdržbový provoz
  • 5-osý magnetický závěsný systém
    • Nulová kontaminace
    • Nízké vibrace
  • Inovativní řízení točivého momentu
    • Patentovaný mechanismus redukce točivého momentu
  • Optimalizované teplotní řízení
    • Vysoké teplotní kapacity TMS
    • Nízká depozice
    • Vestavěný chladící mechanismus
    • Vyšší průchodnost zahřátého a nezahřátého plynu
    • Optimalizována životnost
    • Kompatibilita s drsnými procesy
  • Certifikace
    • Zapsáno v seznamu UL, označení CE a vyhovující SEMI®

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlórů, fluoru a chemického brómu) pro  kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
  • Pokovování
  • MBE
  • Difúze
Technická data  
Vstupní příruba ISO320F
Rychlost čerpání  
N2 3200 ls-1
H2 2300 ls-1
Kompresní poměr  
N2 >108
H2 >6 x 103
Konečný tlak 10-7 Pa
Maximální povolený zpětný tlak 266 Pa
Maximální povolený plynový průtok  
N2 (chlazeno vodou) 2300 sccm (3.8 Pam3s-1)
Ar (chlazeno vodou) 1900 sccm (3.2 Pam3s-1)
Klasifikovaná rychlost 27500 rpm
Čas spuštění 8 min
Montážní poloha Jakákoliv orientace
Vodní chlazení  
Průtok 3 lmin-1
Teplota 5-25 °C (41-77 °F)
Tlak 0.3 MPa
Doporučený průtok plynového očištění 50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
Vstupní napětí 200 to 240 (± 10) V a.c.
Spotřeba energie 1.5 kVA
Váha vývěvy 80 kg (176 lb)
Váha kontroléru 12 kg (26.4 lb)