| Technická data | |
| Nejmenší zjistitelná míra úniku (He) (Pa . m3/s) | ≤5 x 10-11 |
| Ukazatel úniku (Pa . m3/s) | 2 x 10-11 ∼1x10-4 |
| Max vstupní tlak (Pa) | 20 |
| Doba odezvy (s) | ≤ 3 |
| Čas rozběhu (min) | ≤ 8 |
| Napájení | 200V ± 10%, 50 Hz, jednofázový, 10A |
| Provozní prostředí | 5∼35°C, relativní vlhkost ≤ 80% |
| L x W x H (mm) | 500 x 500 x 1000 |