400LX

Nízkoprofilové iontové vývěvy

Technická data  
Váha  95 (210) kg (lbs)
Přepravní váha  113 (250) kg (lbs)
Konečný tlak  méně než 10-11 mbar
Počáteční tlak  1 x 10-3 mbar
Životnost  50,000 hodin @ e-6 mbar
Provozní teplota pece  250°C
Maximální teplota pece  450°C bez magnetů
Rozměry  537 x 413 x 233
 mm, l x w x d