Charakteristika

• Vhodné pro aplikace, kde vysoká rychlost čerpání přesahuje 3000 m³h^-1 / 1776 ft³min^-1. Vyžadováno v oblasti tlaku od 0,01 do 50 mbar / 0,0075 - 37,5 Torr
• Pracuje při relativně nízkých tlacích, což ji tvoří velmi spolehlivou.
• Vývěvy EH mají vysokou kvalitu, suchoběžný čerpací mechanismus. To nabízí:
• Tichý provoz bez vibrací
• Robustnost a odolnost proti korozi
• Rozšířené technologie těsnění hřídele, bez znečištění olejem z procesní komory
• Čerpací mechanismus odolný proti korozi je vyroben z vysoce kvalitní litiny
• Osvědčené uspořádání těsnění hřídele zajišťuje, že žádný olej nevstupuje do čerpacího statoru a absence vnitřních a vnitřních by-pass linek a ventilů, které mohou korodovat nebo lepit. Minimalizují se nároky na údržbu.
• Konstrukce těsnění hřídele je optimalizována tak, aby zajistila, že žádná maziva nemohou migrovat uvnitř čerpacího mechanismu. To udržuje výkon booster vývěvy v aplikacích, které vyžadují nejvyšší standard čistoty. Navíc, to zabrání nahromadění zachycených částic na laloky rotoru a koncové plochy, které mají velmi uzavřené tolerance.
• Dynamicky vyvážené rotory a přesně broušená ozubená kola přispívají k hladkému, tichému provozu vývěv, jak požadují výrobci pokročilých technologií.

Oblasti použití

• Polovodičové procesy
• Vakuová destilace
• Vakuové balení
• Ocelové odplynění
• Potahování tenkých vrstev
• Vakuová metalurgie
• Nízká hustota větrných tunelů
• Prostorová simulace
• Vakuová impregnace
• Olejové sušení a odplynění
• Farmaceutické sušení mrazem
• CO₂ lasery

• Mechanical Vacuum Systems for Steel Degassing brochure (pdf, 1369KB)