Turbomolekulární vývěva STPA803C je konstruována pro použití v polovodičovém průmyslu. Pokročilá technologie rotoru poskytuje prvotřídní výkonnost pro maximální flexibilitu procesu.
Technická data | |
Vstupní příruba | ISO160F |
Výstupní připojení | KF40 |
Plynové připojení | KF10 |
Instalace vodního chlazení | PT1/4 |
Čerpací rychlost | |
N2 | 800 ls-1 |
H2 | 520 ls-1 |
Kompresní poměr | |
N2 | >108 |
H2 | 103 |
Konečný tlak (with bake out heating) | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
Maximální trvalý výstupní tlak | 270 Pa (2 Torr) |
Maximální propustnost dusíku | 1500 sccm |
Klasifikovaná rychlost | 32500 rpm |
Čas spuštění | 7 min |
Maximální teplota vstupní příruby | 120 °C |
Vstupní napětí | 200 - 240 (± 10) V a.c. |
Spotřeba energie | 0.85 kVA |
Váha vývěvy | 39 kg |
Váha kontroléru | 9 kg |