Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

iH160HTX

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Vývěvy pro polovodičový průmysl > iH Suchoběžné vývěvy > iH160HTX
iH160HTX - iH Suchoběžné vývěvy
Vývěvy pro polovodičový průmysl Edwards byly osvědčeny v praxi pro splnění nejvyšších provozních standardů. Spolehlivosti a vysokého výkonu je dosaženo za pomocí prodloužení životnosti, vylepšené doby provozuschopnosti a vzrůstající produktivity, a zároveň minimalizuje rozměry a náklady na vlastnictví.

Charakteristika

  • Optimalizovaná spotřeba nástrojů
  • Není vyžadována preventivní údržba
  • Hřídel upevněná na konzole a speciální profilové rotory pro lepší manipulaci s částicemi
  • Vyhrazený výkon motoru také maximalizuje spolehlivost v hrubých CVD aplikacích
  • Materiál odolný proti korozi umožňuje čerpání korozivních plynů
  • Vyšší provozní teploty poskytují dosatečnou mez, zabraňující plynové kondenzaci
  • Jednoduchá hřídel eliminuje potřebu pro motorovou spojku a pátý stupeň čerpání odstraňuje potřebu pro tlumič a eliminuje hromadění částic, jak snížit celkovou stopu.

Oblasti použití

  • Load Lock
  • Přenos
  • Metrologie
  • Litografie
  • PVD procesy
  • PVD předčištění
  • RTA
  • Leptání
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD
Technická data  
Špičková rychlost 165 m3h-1
  97 cfm
  2750 l min-1
Konečný tlak 1 x 10-2 mbar
  7.5 x 10-3 Torr
  1 Pa
Typické těsnění hřídele průtoku dusíku 4 slm
Vstupní připojení ISO63
Výstupní připojení NW40
Typický průtok vodního chlazení při 15 psi poklesu tlaku 120 l h-1
  2 l min-1
Váha 244 kg
Vstupní výkon 3.1 kW
Jmenovitý výkon motoru 5.0 kW
Kapacita oleje 0.85 l

Všechny údaje jsou typické bez použití gas ballastu.