STPA2203C

Vývěva STPA2203C je konstruována pro použití v polovodičových aplikacích. Vývěva má pokročilou technologii rotoru, která poskytuje prvotřídní výkonnost pro maximální flexibilitu procesu. Nový poloviční držák kontroléru poskytuje další úsporu místa a zahrnuje technologie stejnosměrného proudu pro bezbateriový provoz.

Charakteristika

  • Pokročilá konstrukce rotoru
    • Vyšší propustnost plynu
    • Maximalizovaná flexibilita procesů
  • 5-osý magnetický závěsný systém
    • Nulová kontaminace
    • Nízké vibrace
  • Odolné proti korozi
    • Kompatibilita s drsnými procesy
    • Zvýšená životnost
  • Kompaktní konstrukce
    • Malé rozměry
    • Poloviční držák kontroléru
  • Pokročilá konstrukce kontroléru
    • Automatické ladění
    • Funkce samostatné diagnostiky
    • Střídavý proud řízení motoru
    • Bezbateriový provoz

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlórů, fluoru a chemického brómu) pro  kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
  • Pokovování
  • MBE
  • Difúze
Technická data  
Vstupní příruba ISO250F
Výstupní připojení KF40
Plynové připojení KF10
Instalace vodního chlazení PT1/4
Čerpací rychlost  
N2 2200 ls-1
H2 1700 ls-1
Kompresní poměr  
N2 >108
H2 >2.5 x 104
Konečný tlak 10-6 Pa (10-8 Torr)
Maximální povolený zpětný tlak 400 Pa (3 Torr)
Maximální propustnost dusíku 1500 sccm
Klasifikovaná rychlost 27000 rpm
Čas spuštění 7 min
Montážní poloha Jakákoliv orientace
Průtok vodního chlazení 2 lmin-1
Teplota vodního chlazení 5-25 °C
Tlak 0.3 MPa
Doporučený průtok plynového očištění 20 sccm
Vstupní napětí 200 až 240 (± 10) V a.c.
Spotřeba energie 1.5 kVA
Váha vývěvy 61 kg
Váha kontroléru 12 kg