The digital combination transducer VSM (Pirani/cold cathode) measures absolute pressure from atmospheric pressure to ultrahigh vacuum.
| Principy měření | Kombinované senzory, Magnetron/Cold cathode |
|---|---|
| Závislost na plynu | závislý na typu plynu |
| Rozsah měření mbar | 1000 - 5e-9 mbar |
| Rozsah měření Torr | 750 – 5e-9 Torr |
| Rozsah měření Torr | 750 - 5e-9 Torr |
| Max., Přetlaková odolnost | 10 bar abs., 16 bar abs. s CERT31P |
| Přesnost | 1000 – 10 mbar: approx. 30 % f. r. | 10 – 2e-3 mbar: 10 % f. r. | 2e-3 – 1e-8 mbar: 25 % f. r. |
| Doba odezvy | 50 ms (switch-on cold cathode |
| Opakovatelnost | 10 – 1e-2 mbar: ca. 2% f. r. | 1e-2 – 1e-8 mbar: ca. 7% f. r. |
| Materiály, které jsou v kontaktu s vakuem | Edelstahl 1.4307, tungsten, nickel, glass, molybdenum, Al₂O₃ ceramic |
| Provozní teplota | +5…+50°C (Profinet) |
| Skladovací teplota | -40…+65 °C |
| Napájecí napětí | 20 – 30 VDC |
| Sériové rozhraní | RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity |
| Elektrické připojení | 1x M12 A / 2x M12 D, female |
| Číslo výrobku (volba vakuového připojení) | DN 25 ISO-KF (VSM77), DN 40 CF-F (VSM79), DN 40 ISO-KF (VSM78) |
| Rozměry | 139 x 69 x 48 mm (VSM77) |
| Třída ochrany | IP54 |
| Hmotnost (kg) | 555 g (VSM77) |
| Sériové rozhraní | RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity |
| Elektrické připojení | 1x M12 A / 2x M12 D, female |
| Teplota pro vypékání | Max. 160 °C at the flange (voltage supply switched-off) |
| max. přetížení s CERT31P | up to 16 bar abs. |
| Vlákna / anody | Molybdenium |
| Anodové napětí | < 2.5 kV |
| Kategorie | Vakuový převodník |
| Sériová rozhraní | Profinet, RS485 |