Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

STP-iX455

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Turbomolekulární vývěvy > STP Turbomolekulární vývěvy > STP vývěvy s integrovaným kontrolérem > STP-iX455
STP-iX455 - STP vývěvy s integrovaným kontrolérem

Funkce turbomolekulární vývěvy STP-iX455 inovativní, magnetické ložisko a motor drive systém, poskytuje 50% snížení vibrací, ve srovnání s předchozí generací turbo vývěv. Integrovaný kontrolér eliminuje potřebu pro konvenční, stojanově namontovaný kontroler a propojovací kabely a nevyžaduje žádné chlazení vodou.

Čerpací rychlost vývěvy pro dusík je 450 ls-1. STP-iX455 je vynikající volbou pro elektronové mikroskopy, metrologii, litografii a jiné aplikace citlivé na vibrace.

Charakteristika

  • Kompaktní design včetně plně integrovaného kontroléru
  • Inovativní, samosnímací systém magnetického ložiska
  • Digitální 5-osé řízení
  • Úroveň vibrací snížená o 50%, ve srovnání se stávajícími turbo vývěvami
  • Může být nakonfigurován pro fungování v korozivních procesech
  • ABS jako standard
  • AVR jako standard
  • UL, označení CE a kompatibilní SEMI® S2 

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlór, fluor a chemický brom) pro kovy (hliník), wolfram a dielektrikum (oxid) a polysilicon
  • Elektronová cyklotronová rezonance (ECR) leptání
  • Filmová depozice CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
  • Rozprašování
  • Iontová implantace zdroje
  • MBE
  • Difuze
  • Zatížení komory
  • Vědecké nástroje: analýza povrchů, hmotnostní spektrometrie, elektronová mikroskopie
  • Fyzika vysokých energií: urychlovače
  • Radioaktivní aplikace: systémy syntézy, cyklotrony
Technická data    
Vstupní příruba ISO100K/DN100CF ISO160K/DN160CF
Čerpací rychlost    
N2 300 ls-1 450 ls-1
H2 300 ls-1 460 ls-1
Kompresní poměr    
N2 >108 >108
H2 >1 x 104 >1 x 104
Konečný tlak 6.5x10-6  (5x10-8) 10-8 (10-10)
Váha 15 kg 16 kg

 

   
Maximální pracovní tlak 1.3 x 10-1 Pa
Přípustný zpětný tlak 67 Pa
Jmenovité otáčky 55000 rpm
Startovní čas  
Montážní poloha Jakákoliv orientace
Metoda chlazení Normální chlazení (Ventilátor když pečeme nebo čerpáme plyn)
Olej Není nutný
Zazpětňovací vývěva 240 lmin-1
Únik magnetického toku  
Osový směr  
Paprskovitý směr  
Rozsah okolní teploty 0 - 40 °C
Rozsah teploty při skladování -25 - 55 °C