Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

STP-iXA2206C

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Turbomolekulární vývěvy > STP Turbomolekulární vývěvy > STP vývěvy s integrovaným kontrolérem > STP-iXA2206C
STP-iXA2206C - STP vývěvy s integrovaným kontrolérem

Řada magneticky levitujících turbomolekulárních vývěv STP-iXA2206 poskytuje prvotřídní výkon a zahrnuje malé zdroje do řídící jednotky - nejnovější technologie dobře zavedené řady STP-iXA2205.

Charakteristika

  • Kompaktní konstrukce včetně plně integrovaného kontroléru
  • Inovativní, samosnímací systém magnetického ložiska
  • Digitální 5-osé řízení
  • Úrovně vibrací sníženy o 50% oproti stávajícím turbomolekulárním vývěvám
  • Může být konfigurován pro použití v korozivních procesech

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlórů, fluoru a chemického brómu) pro  kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
Technická data  
Velikost vstupní příruby ISO250F/VG250/ICF305
Velikost výstupního portu KF40
Rychlost čerpání N2/Ar 2200/1900 ls-1
Kompresní poměr N2/H2 >108 / 1 x 104
Konečný tlak 10-7 Pa (10-9 Torr)
Povolený zpětný tlak 266  Pa (2 Torr)
Maximální povolený plynový průtok N2 *(chlazeno vodou) 3000 sccm (5.07 Pam3s-1)
Maximální povolený plynový průtok Ar * (chlazeno vodou) 1400 sccm (2.36 Pam3s-1)
Klasifikovaná rychlost 27000 rpm
Montážní poloha Jakákoliv orientace
Vstupní napětí 200-240 V
Maximální příkon bez TMS 1200 VA
Váha 62 kg


*Maximální průtok plynu je použitelný za podmínek, že N2 nebo Ar plyn je čerpán kontinuálně s teplotou chladící vody mezi 15- 25°C a je použita zazpětňovací vývěva (velikost 10,000 l/min). To se změní podmínkou.