Atlas TPU je celosvětový osvědčený systém a standardní systém snížení v polovodičovém průmyslu pro CVD. Jeden model je vhodný pro všechny CVD a Etch aplikace, oprávnění World Semiconductor Council PFC, snižování emisí musí být splněno. Každý vstup lze individuálně nastavit pro nejvyšší úroveň snižování všech PFC plynů, fluoru (F2) nebo chlortrifluoridu (ClF3).
Technická data | |
Připojení | |
Procesní vstupy plynu | NW40 nerezová ocel |
Bypass výstup | NW40 nerezová ocel |
Snižování systému výfukového výstupu | průměr 75 mm polypropylen |
Skříňka extrahování výstupu | průměr 150 mm x hloubka 150 mm, lakováno jemnou ocelí |
Servisní připojení | |
Přívod dusíku | 1/2 inch Swagelok, nerezová ocel |
Přívod kyslíku | 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel |
Přívod suchého stlačeného vzduchu | 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel |
Přívod paliva plynu | 3/4 inch Swagelok, nerezová ocel |
Přívod chladící vody | 25 mm GF union, polypropylen |
Zpětný výstup chlazení vody | 25 mm GF union, polypropylene |
Nahrazení vodního vstupu | 25 mm GF union, polypropylene |
Kyselé vody kanalizační výstup | 25 mm GF union, polypropylene |
Elektrické zapojení | |
Elektrické napájení kabelové průchodky | 32 mm kabelová žláza, vhodná pro 5-žilové dvojité izolované kabely |
Zákaznické kabelové připojení leadthroughs | 16 mm kabelová žláza |
Rozhraní připojení odběratele | Šroubové terminály |
Požadavky na napájení
|
|
Dodávky | 3-phase 400,220,208,200V, 50/60Hz 1-phase 100V, 50/60Hz |
Jmenovitý příkon
|
1.3kW |
Mechanická Data
|
|
Váha | 530kg |
101.5kg (WRU E Model) | |
103.5kg (WRU S J Modely) |