Kontaktní formulář
- Produkty
- Vývěvy a vakuové stanice
- Suchoběžné vývěvy (R&D)
- Rotační olejové vývěvy
- Turbomolekulární vývěvy
- Turbomolekulární stanice
- Membránové vývěvy
- D-LAB
- GEMINI
- MP (fyzikální aplikace)
- MPC (chemické aplikace)
- MPC (ATEX)
- MPC (konečný tlak menší než 2 mbar)
- MPC (konečný tlak menší než 75 mbar)
- MPC 090 E, 90...260VAC /18VDC
- MPC 110 E, 90...260VAC /24V
- MPC 1201 E, 230/400V 50/60Hz
- MPC 1201 E, 230V 50/60Hz
- MPC 201 E, 230V 50/60Hz
- MPC 2401 E, 230/400V 50/60Hz
- MPC 2401 E, 230V 50/60Hz
- MPC 301 E, 230V 50/60Hz
- MPC 302 E, 230V 50/60Hz
- MPC 601 E, 230/400V 50/60Hz
- MPC 601 E, 230V 50/60Hz
- MPC 602 E, 230/400V 50/60Hz
- MPC 602 E, 230V 50/60Hz
- MPC (konečný tlak menší než 8 mbar)
- XDD1
- Iontové a Getter vývěvy
- Kryogenní vývěvy
- Vývěvy pro chemický průmysl
- Vývěvy pro polovodičový průmysl
- Suchoběžné vývěvy (GV)
- Zubové vývěvy
- Difúzní vývěvy
- Mechanické Boostery
- EH mechanické boostery
- HV mechanické boostery
- Stokes 1700
- Stokes 6"
- 607 5H10
- 607 5HR
- 607 5HR CE 7.5kW
- 607 5V10
- 607 5VR
- 607 5VR CE 7.5kW
- 607 MH05
- 607 MH20
- 607 MHR
- 607 MHR CE
- 607 MV05
- 607 MV20
- 607 MVR
- 607 MVR CE
- 615 5H15
- 615 5HR
- 615 5HR CE 11kW
- 615 5V15
- 615 5VR
- 615 5VR CE 11kW
- 615 MH10
- 615 MH15
- 615 MHR
- 615 MHR CE
- 615 MV10
- 615 MV15
- 615 MVR
- 615 MVR CE
- 61B 5H25
- 61B 5HR
- 61B 5HR CE 18.5kW
- 61B 5V25
- 61B 5VR
- 61B 5VR CE 18.5kW
- 61B MH10
- 61B MH25
- 61B MHR
- 61B MHR CE
- 61B MV10
- 61B MV25
- 61B MVR
- 61B MVR CE
- 622 5H25
- 622 5HR
- 622 5HR CE 18.5kW
- 622 5V25
- 622 5VR
- 622 5VR CE 18.5kW
- 622 MH25
- 622 MHR
- 622 MHR CE
- 622 MV25
- 622 MVR
- 622 MVR CE
- Exhaust management
- Vakuové ventily
- Elektromagnetické ventily
- Kulové ventily
- Manuální ventily
- Pneumatické ventily
- Přivzdušňovací ventily
- Speedivalve
- Měření a kontrola vakua
- Digitální kontrolery
- Měření vakua
- 1 channel, 115V, for Analogline transducers with 4-20 mA output, USB, analog output 0-1 V / 0-10V
- 1 channel, 230V, for Analogline transducers with 4-20 mA output, USB, analog output 0-1 V / 0-10V
- 2 channels, 95 - 265V, for Smartline transducers and Analogline transducers with 0-10 V output, USB interface and RS232 interface
- 4 channels, 1200-5e-10 mbar, for Smartline transducers and Analogline transducers with 0-10 V output, USB interface and RS232 interface
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN25KF
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN25KF, display
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN25KF, EtherCAT
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN25KF, Profinet
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40CF
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40CF, display
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40CF, EtherCAT
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40CF, Profinet
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF, display
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF, EtherCAT
- Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF, Profinet
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN25KF
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN25KF, display
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN25KF, EtherCat
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN25KF, Profinet
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN40 CF, EtherCat
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN40 CF, Profinet
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN40CF
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN40CF, display
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF, display
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF, EtherCat
- Cold cathode, 2e-3-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF, Profinet
- Hot cathode / Pirani, 1000-5e-10 mbar, metal sealed, DN25KF
- Hot cathode / Pirani, 1000-5e-10 mbar, metal sealed, DN25KF, display
- Hot cathode / Pirani, 1000-5e-10 mbar, metal sealed, DN40CF
- Piezo / Pirani, 1200-5e-4 mbar, USB-interface
- Piezo / Pirani, absolute pressure 1200 - 1.0e-4 mbar and relative pressure -1260 ... +940 mbar, metal sealed, DN16KF, Display
- Piezo, 1600-1 mbar, DN16KF with G1/4 female thread, USB-interface
- Pirani external, 100-1e-3 mbar, 1/8" NPT-thread USB-interface
- Pirani external, 100-1e-3 mbar, DN16KF, USB-interface
- Pirani, 100-5e-4 mbar, metal sealed, DN16KF USB-interface
- Pirani, 1000-1e-4 mbar, metal sealed, DN16KF, display
- Vakuometry
- Měření netěsností
- Oleje a maziva
- Dmychadla
- Laboratorní technika
- Filtrace (filtry)
- Sací vakuové filtry
- Řada CT 1" - 6" BSPP
- Řada CSL 3" - DN300 BSPT, Příruba
- Řada CSL 3/8" - 3" BSPP
- Řada FST 1½" - 8"
- Řada ISO CSL, Příruba NW16 - NW40 (Black Finish)
- Řada ISO CSL, Příruba NW16 - NW40 (Electroless Nickel Finish)
- Řada IVPL 3"-12"
- Řada IVPS 3"-12"
- Řada ST SpinMeister
- Řada ST, Průhledný vakouvý filtr
- Řada VL 3"- 6" MPT (BSPT)
- Řada VL příruba 4" - 6"
- Řada VS 3" - 6" MPT (BSPT)
- Řada VS, příruba 4" - 6"
- Sací filtry / filtry s odkrytou vložkou
- Řada Big Boy F DN200 - DN300, Příruba PN10
- Řada Big Boy FT DN200 - DN300, Příruba PN10
- Řada CSS 1/4" - 1"
- Řada F 3" - 6" BSPT
- Řada F DN80 - DN150
- Řada FT 1/2" - 3" BSPT
- Řada FT 3" - 6" BSPT
- Řada FT DN80 - DN150, Příruba PN10 & 16
- Řada SM 1"- 2-1/2" SpinMeister
- Řada SM 1/2" - 1" SpinMeister
- Řada SM 4" SpinMeister
- Řada SM DN125 - DN300
- Sací filtry s integrovaným tlumením hluku
- Filtry s tlumením hluku "Mega Boy"
- Kryt pro řadu základových rámu BBF
- Řada Big Boy FS DN200 - DN300, Příruba PN10
- Řada Big Boy QB DN200 - DN300, Příruba PN10
- Řada EFS
- Řada FS 1/2" - 3" BSPT
- Řada FS 1/4" - 1" BSPT
- Řada FS 3" - 6" BSPT
- Řada FS DN80 - DN150, Příruba PN10
- Řada LQB 3" BSPT - DN300, Příruba PN10
- Řada PS
- Řada QB 2" - 6" BSPT
- Řada QB DN80 - DN150, Příruba PN10
- Řada SLCR / SLCRT 1/2" - 4" tlumiče
- Snubber Discharge/Intake Silencer
- Víceválcové filtry s tlumením hluku Řada MBFS
- Základový rám - Řada BBF, Připojení 2"-6"
- Výstupní filtry pro zachycení olejové mlhy
- Filtrační vložky
- 1 Micron Polyester vložky, "Z" Media
- 100 Micron Polyester vložky, "W" Media
- 25 Micron Polyester vložky, "U" Media
- 4 Micron Polyester vložky, "N" Media
- ACG Media
- Aktivní hlíníkové vložky, "AA" Media
- Elektrostatické, absorpce pachů, řada "GM"
- HEPA vložky w/SS ID/OD, "HE" Media
- HEPA vložky w/SS ID/OD/EC, "HE" Media
- HEPA vložky, "HE" Media
- Malé kompaktní vložky řady "Hockey Puck"
- Nomex vložky, "MX" Media
- Polyesterové a papírové vložky pro průtok 60 - 510 m3/h
- Polyesterové a papírové vložky řady Compact / Big Boy
- Polypropylenové vložky, "Y" media
- Polyurethanové pěnové vložky, "FXF" Media
- PPS vložky, "RY" Media
- PTFE vložky, "TF" Media
- Řada "32" Filtry pro dmychadla
- Řada J, Polyester/Papírové vložky s SS ID/OD
- Řada K , Polyester/Papírové vložky s SS ID/OD
- Řada Q , Polyester/Papírové vložky s SS ID/OD/EC
- Řada R, Polyester/Papírová vložka SS ID/OD/EC
- Separátory vrchního stylu , řada 51
- SS Nomex vložka, "MXD" Media
- SS síťové vložky, "XXWSS" Media
- SS vložky z drátěného pletiva, "S2" Media
- ULPA "UL" Media
- Vložky nestandardních rozměrů
- Vložky pro zachycení olejové mlhy
- Vložky řady International 800
- Vložky s aktivního uhlí, "AC" Media
- Vložky z drátěného pletiva "S" Media
- WP Media Coalescing vložky nízkého poklesu tlaku
- Příslušenství
- Speciální aplikace
- Sací vakuové filtry
- Náhradní díly
- Vývěvy a vakuové stanice
- Služby
- Trhy – aplikace
- Výzkum a vývoj
- Vývoj zařízení pro prostorovou dezinfekci pomocí HOCl s pokročilým řídícím software
- Držák vzorku pro moderní depoziční procesy
- Výzkum a vývoj elektrovodivých keramických kompozitních povlaků
- Technologie kombinovaného zdroje plasmatu pro vznik pokročilých povrchových úprav
- Bezobslužné vakuové zařízení pro servis transformátorů
- Glass-ceramic innovation ecosystem for implementation of new research directions in applications (GlaCerHub)
- Inteligentní imisní měření v okolí produktovodů a průmyslových aplikací pomocí dronu
- Vývoj centrální jednotky pro vakuové systémy odpadních vod
- Výzkum a vývoj filtračního zařízení pro elektroizolační kapaliny s využitím vysoce funkčních keramických materiálů
- Výzkum a vývoj pokročilého interakčního vakuového systému pro laserovou spektroskopii
- Výzkum a vývoj technologie pro výrobu vakuových komponent nekonvenčními postupy
- Informace
- Ke stažení
- Kariéra
- Kontakt
Atlas TPU
Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Exhaust management > Atlas TPU
Atlas TPU je celosvětový osvědčený systém a standardní systém snížení v polovodičovém průmyslu pro CVD. Jeden model je vhodný pro všechny CVD a Etch aplikace, oprávnění World Semiconductor Council PFC, snižování emisí musí být splněno. Každý vstup lze individuálně nastavit pro nejvyšší úroveň snižování všech PFC plynů, fluoru (F2) nebo chlortrifluoridu (ClF3).
Charakteristika
- Nízké náklady na vlastnictví
- Jednotka recirkulace vody (WRU) zajišťuje snížení využité vody
- Bezkonkurenční snižování výkonu
- Nezávisle ověřeno
- Poskytuje vysoký průtok, vysoký výkon, snížení CF4
- Schopnost zacházet s velkými průtoky ClF3
- Robustní výkon
- Certifikovaný SEMI S2, označení CE a ETL
Oblasti použití
- TPU může řídit proces výfuku ze čtyřmi CVD nebo etch komorami, a každý vstup může být nezávisle konfigurován pro optimální PFC destrukční výkon.
| Technická data | |
| Připojení | |
| Procesní vstupy plynu | NW40 nerezová ocel |
| Bypass výstup | NW40 nerezová ocel |
| Snižování systému výfukového výstupu | průměr 75 mm polypropylen |
| Skříňka extrahování výstupu | průměr 150 mm x hloubka 150 mm, lakováno jemnou ocelí |
| Servisní připojení | |
| Přívod dusíku | 1/2 inch Swagelok, nerezová ocel |
| Přívod kyslíku | 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel |
| Přívod suchého stlačeného vzduchu | 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel |
| Přívod paliva plynu | 3/4 inch Swagelok, nerezová ocel |
| Přívod chladící vody | 25 mm GF union, polypropylen |
| Zpětný výstup chlazení vody | 25 mm GF union, polypropylene |
| Nahrazení vodního vstupu | 25 mm GF union, polypropylene |
| Kyselé vody kanalizační výstup | 25 mm GF union, polypropylene |
| Elektrické zapojení | |
| Elektrické napájení kabelové průchodky | 32 mm kabelová žláza, vhodná pro 5-žilové dvojité izolované kabely |
| Zákaznické kabelové připojení leadthroughs | 16 mm kabelová žláza |
| Rozhraní připojení odběratele | Šroubové terminály |
|
Požadavky na napájení
|
|
| Dodávky | 3-phase 400,220,208,200V, 50/60Hz 1-phase 100V, 50/60Hz |
|
Jmenovitý příkon
|
1.3kW |
|
Mechanická Data
|
|
| Váha | 530kg |
| 101.5kg (WRU E Model) | |
| 103.5kg (WRU S J Modely) |
- Atlas™ Gas Abatement Systems Datasheet (pdf, 327KB)