Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

STP603

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Turbomolekulární vývěvy > STP Turbomolekulární vývěvy > UHV vývěvy > STP603
STP603 - UHV vývěvy

Nové turbomolekulární vývěvy STP603 jsou vhodné pro použití v nejpokročilejších polovodičových aplikacích. Technologie rotoru Edwards poskytuje prvotřídní výkonnost pro maximální flexibilitu procesu.

Charakteristika

  • Pokročilá konstrukce rotoru
    • Maximalizovaná flexibilita procesů
    • Bez oleje
    • Nízké vibrace
    • Vysoká spolehlivost
    • Bezúdržový provoz
  • Pokročilá konstrukce kontroléru
    • Automatické ladění
    • Funkce samostatné diagnostiky
    • Střídavý proud řízení motoru
    • Bezbateriový provoz
  • Kompaktní konstrukce
    • Malé rozměry
    • Poloviční držák kontroléru

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlóru, fluoru a chemického brómu) pro kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PEVCD, ECRCVD, MOCVD
  • Pokovování
  • MBE
  • Difúze
Technická data  
Vstupní příruba ISO160F
Výstupní připojení KF40
Čerpací rychlost  
N2 650 ls-1
H2 550 ls-1
Kompresní poměr  
N2 >108
H2 >105
Konečný tlak (with bake out heating) (VG/ISO příruba) 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
Konečný tlak (with bake out heating) (ICF příruba) 10-7 Pa (10-9 Torr)
Maximální trvalý výstupní tlak 13 Pa (0.1 Torr)
Klasifikovaná rychlost 35000 rpm
Čas spuštění 6 min
Maximální teplota vstupní příruby 120 °C
Vstupní napětí 100 - 120 (± 10) V a.c. or
  200 - 240 (± 10) V a.c.
Spotřeba energie při spuštění 0.8 kVA
Váha vývěvy 31 kg
Váha kontroléru 9 kg