Charakteristika

• Vhodné pro aplikace, kde vysoké rychlostí čerpání přesahují 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1, jsou vyžadovány v oblasti tlaku 0,01 - 50 mbar / 0.0075 - 37.5 Torr
• Pracuje při relativně nízkých tlacích, to tvoří vývěvu spolehlivou.
• EH vývěvy mají vysokou kvalitu, suchoběžný čerpací mechanismus. To nabízí:
• Tichý provoz bez vibrací
• Robustnost a odolnost vůči korozi
• Rozšířené technologie těsnění hřídele s žádnou olejovou kontaminací na procesní komoře
• Čerpací mechanismus odolný proti korozi je vyroben z vysoce kvalitního železa
• Osvědčené uspořádání těsnění hřídele zajišťuje, že žádný olej nevstupuje do čerpacího statoru a absence vnitřních a vnějších by-pass linek a ventilů, které mohou korodovat nebo lepit, minimalizují nároky na údržbu.
• Konstrukce těsnění hřídele je optimalizováno tak, aby bylo zajištěno, že žádná maziva nemohou migrovat uvnitř čerpacího mechanismu. To udržuje výkon booster vývěvy v aplikacích, které vyžadují nejvyšší standard čistoty. Navíc, to zabrání nahromadění zachycených částic na lalocích rotoru a koncových plochách, které mají velmi uzavřenou toleranci.
• Dynamicky vyvážené rotory a přesně zakotvená ozubená kola přispívají k hladkému, tichému provozu vývěvy, jak požadovali výrobci pokročilých technologií

Oblasti použití

• Polovodičový průmysl
• Vakuová destilace
• Vakuové balení
• Ocelové odplynění
• Povlakování tenkých vrstev
• Vakuová metalurgie
• Vakuová impregnace
• Olejové sušení a odplynění
• Farmaceutické sušení mrazem
• CO₂ lasery

• Mechanical Vacuum Systems for Steel Degassing brochure (pdf, 1369KB)