Brooks CTI-Cryogenics On-Board, kryogenní vývěvy rychlejší integrace a zlepšení systému provozu, jsou světovým standardem pro spolehlivost a výkon. Přináší vynikající dobu provozuschopnosti, On-Board kryogenní vývěvy a konzistentní výkon, s plně integrovanými kontrolami a podpůrnou periférií. Poskytují vynikající dobu provozuschopnosti pro zvýšení celkových nástrojů produktivity a provozuschopnosti.
Technická data | ||||||||
Model On-Board kryogenní vývěvy | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
Čerpací rychlost l/s | ||||||||
Vodní pára | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
Vzduch | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 2,200 | 6,000 | 10,000 | |
Vodík | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 | |
Argon | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 1,800 | 5,000 | 8,400 | |
Kapacita - std. litr | ||||||||
Argon | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 | |
Vodík (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
Nominální čas regenerace (cold to cold) | ||||||||
První & Druhá fáze | 75 min | 2.5 hod | 2.5 hod | 2.5 hod | 2.5 hod | 3 hod | ||
Druhá fáze |