On-Board® kryogenní vývěvy

Brooks CTI-Cryogenics On-Board, kryogenní vývěvy rychlejší integrace a zlepšení systému provozu, jsou světovým standardem pro spolehlivost a výkon. Přináší vynikající dobu provozuschopnosti, On-Board kryogenní vývěvy a konzistentní výkon, s plně integrovanými kontrolami a podpůrnou periférií. Poskytují vynikající dobu provozuschopnosti pro zvýšení celkových nástrojů produktivity a provozuschopnosti.

Klíčové vlastnosti

  • Rychlé Regen™ schopnosti, které zajišťují výkon kryogenní vývěvy mezi regeneracemi.
  • Simultánní regenerační schopnost, umožněné síťování Vaší kryogenní vývěvy, která urychluje celkový systém regenerace.
  • Vestavěné mikroprocesorové řízení pro zvýšení výkonu, vykonávající diagnostické postupy a zajistí schopnost komunikace.
  • Sofistikovaný software a snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní, které výrazně zlepší výkon a provoz.
Technická data                
Model On-Board kryogenní vývěvy 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Čerpací rychlost l/s
Vodní pára 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 6,500 17,500 30,000
Vzduch 370 1,500 1,500 3,000   2,200 6,000 10,000
Vodík 370 2,500 2,200 5,000   3,200 12,000 12,000
Argon 310 1,200 1,200 2,500   1,800 5,000 8,400
 
Kapacita - std. litr
Argon 210 1,000 1,000 2,000   1,000 2,500 6,000
Vodík (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
 
Nominální čas regenerace (cold to cold)
První & Druhá fáze 75 min 2.5 hod 2.5 hod 2.5 hod 2.5 hod 3 hod 
Druhá fáze