Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

EPX180L

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Vývěvy pro polovodičový průmysl > EPX Suchoběžné vývěvy > EPX180L
EPX180L - EPX Suchoběžné vývěvy

Nové kompaktní suchoběžné vývěvy EPX180 nabízí zdokonalený výkon s nižšími náklady na vlastnictví. Za pomocí použití jedinečného patentově chráněného mechanismu je vývěva EPX180 schopna čerpat z atfosméry po konečné tlaky -5 Torr.

Charakteristika

  • Kompaktní rozměry - k dispozici jako jedna z nejmenších on-tool vývěv, EPX poskytuje vynikající úsporné rozměry.
  • Nízké náklady na vlastnictví - EPX vyžaduje pouze 1.4 kW výkonu a zahrnuje volnoběh pro maximalizaci energetické účinnosti.
  • Jedinečný patentově chráněný čerpací mechanismus.
  • Ultra čistý mechanismus.
  • Extrémní spolehlivost.
  • Síťová kompatibilita.

Oblasti použití

  • Řada vývěv EPX zahrnuje širokou škálu aplikací od manipulačních systémů po středně náročné procesy.
  • Řada vývěv EPX "L" byla konstruována pro použití v čistých aplikacích čerpání inertních směsí plynu, jako je loadlock, přičemž řízení je poskytováno za pomocí procesu nástrojového rozhraní.
Technická data  
Špičková rychlost 170 m3h-1
  105 ft3min-1
  2835 lmin-1
Konečný tlak  
   <1 x 10-4 mbar
  <7,5 x 10-5 Torr
  <1 x 10-2 Pa
Čas rozehřátí (na jmenovitý výkon) 30 min
Vstupní příruba ISO63
Výstupní příruba NW25
Úroveň hluku  
Vodní připojení 3/8 in Quick
Minimální průtok vodního chlazení 2 lm-1
Teplota vodního chlazení 15 – 35 °C
Elektrické připojení 200/208 V, 50/60 Hz 3 phase
Konečný výkon 1.4 kW
Jmenovitý výkon motoru 3.0 kW
TIM C3
Váha 43.5 kg