GX100L

Suchoběžné vývěvy GX stanovují nové standardy pro bezúdržbový provoz mezi hlavními generálními opravami. Zvýšená výkonnost snižuje náklady na vlastnictví a zajišťuje nepřetržité čerpání v celém rozsahu tlaku.

Charakteristika

  • Snížené náklady na vlastnictví
    • Až 50 % snížení nákladů na vybavení, v porovnání iL / iH suchoběžných vývěv
    • Žádná preventivní údržba
  • Flexibilní možnosti instalace
    • Malé a lehké pro snadnou instalaci
    • On-tool, Blízkost uzavření nebo dálkové ovládání
  • Možné vylepšení nástrojů výrobní kapacity
    • K dispozici jedny z nejrychlejších loadlock vývěv
  • Konzistentní čerpací výkon - globálně
    • Čerpací rychlost totožná při 50 a 60 Hz
  • Snížení okolního hluku
    • Pouze 55 dB(A)
  • Široká škála maximální rychlosti
    • 100, 300, 600 a 800 m3h-1

Oblasti použití

  • Load Lock
  • Přenos
  • Metrologie
  • Litografie
  • PVD procesy
  • PVD předčištění
  • RTA
  • Leptání - oxid
  • Leptání - kov
Technická data  
Výkonnost  
Špičková rychlost 105 m3h-1
  62 ft3min-1
  1750 lmin-1
Konečný tlak 5 x 10-3 mbar
  3.75 x 10-3 Torr
  0.5 Pa
Příkon při 700 Torr výfuk  
Konečný 1 kW
AUC (Pohyblivý utility kontrolér) 0.05 kW
Voda *  
Vodní vstup 1 slm
Dusík 0 slm
Detaily instalace  
Rozměry (vyjma výfuku) 0.20 m2
Váha 120 kg
Vstupní připojení ISO 63
Výstupní připojení NW25


* Vyžaduje neustále příslušenství ventilu průtoku