25S

Malá iontová vývěva

Technická data  
Váha  9 (20) kg (lbs)
Přepravní váha  11 (24) kg (lbs)
Konečný tlak  méně než 10-11 mbar
Počáteční tlak  1 x 10-3 mbar
Životnost  50,000 hodin @ e-6 mbar
Provozní teplota pece  250°C
Maximální teplota pece  450°C bez magnetů
Rozměry  202 x 125 x 130
 mm, l x w x d