Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

STP301

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Turbomolekulární vývěvy > STP Turbomolekulární vývěvy > UHV vývěvy > STP301
STP301 - UHV vývěvy

Vývěva STP301 je určena pro použití v elektronové mikroskopii a polovodičových aplikacích. Technologie rotoru Edwards poskytuje prvotřídní výkonnost pro maximální flexibilitu procesů.

Charakteristika

  • Pokročilá konstrukce rotoru
    • Maximalizovaná flexibilita procesů
    • Bez oleje
    • Nízké vibrace
    • Vysoká spolehlivost
    • Bezúdržový provoz
  • Pokročilá konstrukce kontroléru
    • Automatické ladění
    • Funkce samostatné diagnostiky
    • Střídavý proud řízení motoru
    • Bezbateriový provoz
  • Kompaktní konstrukce
    • Malé rozměry
    • Poloviční držák kontroléru

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlóru, fluoru a chemického brómu) pro kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PEVCD, ECRCVD, MOCVD
  • Pokovování
  • MBE
  • Difúze
Technická data  
Vstupní příruba ISO100, CF100
Výstupní připojení KF25
Čerpací rychlost  
N2 300 ls-1
H2 300 ls-1
Kompresní poměr  
N2 >108
H2 >2 x 104
Konečný tlak (with bake out heating) (VG/ISO příruba) 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
Konečný tlak (with bake out heating) (ICF příruba) 10-8 Pa (10-10 Torr)
Maximální povolený vstupní tlak okolního chlazení 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
Maximální povolený výstupní tlak okolního chlazení 13 Pa (0.1 Torr)
Klasifikovaná rychlost 48000 rpm
Čas spuštění 3 min
Maximální teplota vstupní příruby 120 °C
Vstupní napětí 100 to 120 (± 10%) V a.c. or
  200 to 240 (± 10%) V a.c.
Spotřeba energie při spuštění 0.55 kVA
Váha vývěvy 11 kg
Váha kontroléru 7 kg