Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

Atlas TCS

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Exhaust management > Atlas TCS
Atlas TCS - Exhaust management

Účinné výfukové řízení CVD procesů musí být schopno zvládnout depozici plynů a souvisejicího prachu. Fluoridové odpady z čištěných plynů, také vyžadují vhodné zacházení spolu s globálním oteplováním plynů. Systémy snižování musí být schopny splnit tyto požadavky v jedné kompletní jednotce.

Charakteristika

  • Vysoce výkonné, robustní snižování
    • Schopen odstranit pyroforické a kyselé plyny pod TLV
    • Bezpečné zacházení s až 20 slpm fluoru
    • Výborná manipulace vysokého prachového objemu
  • Nízké náklady na vlastnictví
    • Recirkulace vody zajišťuje snížení využité vody
  • OEM doporučeno
  • Nástroj pro maximální provozuschopnost
    • Nízká tepelná hmota usnadňuje rychlý servis
    • Osvědčená konstrukce odolná proti korozi
  • Malé rozměry
  • Podporována globálními servisními organizacemi
  • Certifikace třetí stranou
    • SEMI S2, certifikováno F14, ETL

Oblasti použití

TCS je vhodné pro všechly CVD procesy, kde není požadována PFC destrukce, ale potřeba stále existuje pro efektivní manipulaci s prachem a snižování emisí znečišťujících nebezpečných látek (HAP).

  • CVD a vzdálená plasma NF3 komory čištění
Technická data  
Připojení  
Procesní vstupy plynu NW40 nerezová ocel
Bypass výstup NW40 nerezová ocel
Snižování systému výfukového výstupu průměr 75 mm polypropylen
Skříňka extrahování výstupu průměr 150 mm x hloubka 150 mm, lakováno jemnou ocelí
Servisní připojení  
Přívod dusíku 1/2 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod kyslíku 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod suchého stlačeného vzduchu 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod paliva plynu 3/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod chladící vody 25 mm GF union, polypropylene
Zpětný výstup chlazení vody 25 mm GF union, polypropylene
Nahrazení vodního vstupu 25 mm GF union, polypropylene
Kyselé vody kanalizační výstup 25 mm GF union, polypropylene
Elektrické zapojení  
Elektrické napájení kabelové průchodky 32 mm kabelová žláza, vhodná pro  5-žilové dvojité izolované kabely
Zákaznické kabelové připojení 16 mm kabelová žlázy
Rozhraní připojení odběratele Šroubové terminály
Požadavky na napájení
  
Dodávky 3-phase 400,220,208,200V, 50/60Hz
1-phase 100V, 50/60Hz
Jmenovitý příkon
 1.3kW
Mechanická Data
  
Váha 530kg
  101.5kg (WRU E Model)
  103.5kg (WRU S J Modely)