Cold cathode / Pirani, 1000-5e-9 mbar, metal sealed, DN40KF, EtherCAT

VSM78E

The digital combination transducer VSM (Pirani/cold cathode) measures absolute pressure from atmospheric pressure to ultrahigh vacuum.

Principy měření Kombinované senzory, Magnetron/Cold cathode
Závislost na plynu závislý na typu plynu
Rozsah měření mbar 1000 - 5e-9 mbar
Rozsah měření Torr 750 – 5e-9 Torr
Rozsah měření Torr 750 - 5e-9 Torr
Max., Přetlaková odolnost 10 bar abs., 16 bar abs. s CERT31P
Přesnost 1000 – 10 mbar: approx. 30 % f. r. | 10 – 2e-3 mbar: 10 % f. r. | 2e-3 – 1e-8 mbar: 25 % f. r.
Doba odezvy 50 ms (switch-on cold cathode
Opakovatelnost 10 – 1e-2 mbar: ca. 2% f. r. | 1e-2 – 1e-8 mbar: ca. 7% f. r.
Materiály, které jsou v kontaktu s vakuem Edelstahl 1.4307, tungsten, nickel, glass, molybdenum, Al₂O₃ ceramic
Provozní teplota +5…+60 °C
Skladovací teplota -40…+65 °C
Napájecí napětí 20 – 30 VDC
Sériové rozhraní RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity
Elektrické připojení 1x M12 A / 2x M12 D, female
Číslo výrobku (volba vakuového připojení) DN 25 ISO-KF (VSM77), DN 40 CF-F (VSM79), DN 40 ISO-KF (VSM78)
Rozměry 139 x 69 x 48 mm (VSM77)
Třída ochrany IP54
Hmotnost (kg) 555 g (VSM77)
Sériové rozhraní RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity
Teplota pro vypékání Max. 160 °C at the flange (voltage supply switched-off)
max. přetížení s CERT31P up to 16 bar abs.
Vlákna / anody Molybdenium
Anodové napětí < 2.5 kV
Kategorie Vakuový převodník
Sériová rozhraní EtherCAT, RS485