| Technická data | |
| Vstupní příruba | ISO160K |
| Výstupní port | KF25 |
| Čistící port | KF10 (C verze pouze) |
| Čerpací rychlost | |
| N2 | 450 ls-1 |
| H2 | 410 ls-1 |
| Kompresní poměr | |
| N2 | >108 |
| H2 | >2 x 104 |
| Konečný tlak s vytápěním | 10-6 Pa (10-8 Torr) |
| Maximální dovolený vstupní tlak | 6,7 x 10-2 Pa (5 x 10-4 Torr) |
| Maximální dovolený zpětný tlak | 13 Pa (0,1 Torr) |
| Jmenovitá rychlost | 48000 rpm |
| Start | 3 min |
| Montážní pozice | vertikální |
| Doporučený průtok plynu | 10 (1,7 x 10-2) sccm |
| Vstupní napětí | 100 to 120 V a.c. (±10%) or 200 to 240 V a.c. (±10%) |
| Typická spotřeba energie | 0,55 kVA |
| Hmotnost vývěva / kontroler | 14 / 7 kg |