300T

Vysokoprofilové iontové vývěvy

Technická data  
Váha  66 (145) kg (lbs)
Přepravní váha  84 (185) kg (lbs)
Konečný tlak méně než 10-11 mbar
Počáteční tlak  1 x 10-3 mbar
Životnost  50,000 hodin @ e-6 mbar
Provozní teplota pece  250°C
Maximální teplota pece  450°C bez magnetů
Rozměry  454 x 453 x 207
 mm, l x w x d