Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

iGX600M

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Vývěvy pro polovodičový průmysl > iGX Suchoběžné vývěvy > iGX600M
iGX600M - iGX Suchoběžné vývěvy
Suchoběžné vývěvy iGX nastavují nové standardy pro bezúdržbový provoz mezi hlavními generálními opravami. Vylepšená výkonnost snižuje náklady na vlastnictví a poskytuje kontinuální čerpací povinnost v celém rozsahu tlaku.

Charakteristika

  • Snížené náklady na vlastnictví
    • Až 50 % snížení v porovnání nákladu na vybavení iL / iH suchoběžnými vývěvami
    • Žádná preventivní údržba
  • Flexibilní možnosti instalace
    • Malé a lehké pro snadnou instalaci
    • On-tool, Blízkost uzavření nebo dálkové ovládání
  • Možné vylepšené nástroje výrobní kapacity
    • K dispozici jedny z nejrychlejších loadlock vývěv
  • Konzistentní čerpací výkon - globálně
    • Čerpací rychlost totožná při 50 a 60 Hz
  • Snížení okolního hluku
    • Pouze 55 dB(A)
  • Široká škála maximální rychlosti
    • 100, 300, 600 a 800 m3h-1

Oblasti použití

  • Load Lock
  • Přenos
  • Metrologie
  • Litografie
  • PVD procesy
  • PVD předčištění
  • RTA
  • Leptání - oxid
  • Leptání - kov
Technická data  
Špičková rychlost 620 m3h-1
  365 cfm
  10333 l min-1
Konečný tlak 7.00E-04 mbar
  5.25E-04 Torr
  0.07 Pa
Příkon při 700 Torr výfuk  
Konečný 1.6 kW
AUC (Pohyblivý utility kontrolér) 0.05 kW
Vodní vstup* 2 slm
Dusík 4 nebo 14 slm
Rozměry (vyjma výfuku) 0.20 m2
Váha 220 kg
Vstupní připojení ISO100
Výstupní připojení NW25
Úroveň hluku < 55 dB(A)

* Vyžaduje neustále příslušenství ventilu průtoku