Piezo / Pirani, absolute pressure 1200 - 1.0e-4 mbar and relative pressure -1260 ... +940 mbar, metal sealed, DN16KF, Display

VSL53DL

The vacuum transducer VSL has been developed especially for loadlocks. The metal sealed gauge uses a multi sensor technology and combines two piezos with a Pirani sensor. Therefore, the vacuum transducer measures absolute pressure in the range of 1200 …1e-4 mbar as well as relative pressure in relation to the environment in the range of -1060 … +340 mbar.
The VSL is available in KF and CF variations and with different interfaces.

Principy měření Kombinované senzory, Piezo, Pirani
Závislost na plynu závislý na typu plynu, nezávislý na typu plynu (Piezo)
Rozsah měření mbar -1060 … +340 mbar (rel.), 0-10V Output
Rozsah měření Torr 900 – 1e-4 Torr, Relative pressure: -795 … +255 Torr
Max., Přetlaková odolnost 4 bar abs.
Přesnost 1200 – 40 mbar: 0.3 % f.s. | 40 – 2e-3 mbar: 10 % f.r.
Doba odezvy 40 ms
Opakovatelnost 1200 – 40 mbar: 0.1% f.s. | 40 – 1e-2 mbar: 2 % f.r.
Materiály, které jsou v kontaktu s vakuem Stainless steel 1.4307, tungsten, nickel, glass, gold, silicon oxide
Provozní teplota +5…+60 °C
Skladovací teplota -40…+65 °C
Napájecí napětí 20 – 30 VDC
Číslo výrobku (volba vakuového připojení) DN 16 CF-F (VSL54), DN 16 ISO-KF (VSL53)
Třída ochrany IP40, IP54 mit connector XB15SL05
Hmotnost (kg) 0,195 (VSL53)
Spotřeba energie Max. 2.5 W, add. 0.8 W f. EtherCAT/relays/ LCD, add. 1.6 W for Profinet
Výstupní signal SL 0 – 10 VDC, min. 10 kΩ, measuring range 1,5 – 8,58 VDC, log. except EtherCAT, Profinet
Sériové rozhraní RS485: 9.6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity
Spínací výstup 2x relay, pot. free, 50 VAC / 2 Aor 30 VDC / 2 A, max. 60 VA, except EtherCAT and Profinet
Elektrické připojení SubD 15pole, male
Kategorie Vakuový převodník
Výstupní signál 0-10 V
Sériová rozhraní RS485