Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

EPX500L

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Vývěvy pro polovodičový průmysl > EPX Suchoběžné vývěvy > EPX500L
EPX500L - EPX Suchoběžné vývěvy

Nové kompaktní suchoběžné vývěvy EPX500 nabízí zdokonalený výkon s nižšími náklady na vlastnictví. Za pomocí použití jedinečného patentově chráněného mechanismu je vývěva EPX500 schopna čerpat z atfosméry po konečné tlaky -5 Torr.

Charakteristika

  • Kompaktní rozměry - k dispozici jako jedna z nejmenších on-tool vývěv, EPX poskytuje vynikající úsporné rozměry.
  • Nízké náklady na vlastnictví - EPX vyžaduje pouze 1.4 kW výkonu a zahrnuje volnoběh pro maximalizaci energetické účinnosti.
  • Jedinečný patentově chráněný čerpací mechanismus 
  • Ultra čistý mechanismus
  • Extrémní spolehlivost
  • Síťová kompatibilita

Oblasti použití

  • Řada vývěv EPX zahrnuješ širokou škálu aplikací od "wafer handling" po procesy "medium duty"
  • Řada vývěv EPX "L" byla konstruována pro použití v čistých aplikacích čerpání intertních směsí plynu.
Technická data  
Špičková rychlost 500 m3h-1
  295 ft3min-1
  8338 lmin-1
Konečný tlak  
  <1 x 10-6 mbar
  <7 x 10-7 Torr
  <1 x 10-4 Pa
Čas rozehřátí (na jmenovitý výkon) 30 min
Vstupní příruba ISO160
Výstupní příruba NW25
Úroveň hluku <59 dB(A)
Minimální průtok vodního chlazení 2 lmin-1
Teplota vodního chlazení 15 – 35 °C
Elektrické připojení 200/208 V, 50/60 Hz 3 phase
Konečný výkon 1.4 kW
Jmenovitý výkon motoru 3.0 kW
TIM C3
Váha 45.2 kg