1200LX

Nízkoprofilové iontové vývěvy

Technická data  
Váha  206 (452) kg (lbs)
Přepravní váha  254 (560) kg (lbs)
Konečný tlak  méně než 10-11 mbar
Počáteční tlak  1 x 10-3 mbar
 Životnost  50,000 hodin @ e-6 mbar
Provozní teplota pece  250°C
Maximální teplota pece  450°C bez magnetů
Rozměry  650 x 513 x 513
 mm, l x w x d