Sídlo společnosti
- Activair s.r.o.
Ostravská 311/7
747 70 Opava-Komárov
Česká republika
| Tel: | +420 595 171 552
|
| Fax: | +420 226 013 984 |
| E-mail: | |
| IČ: | 28605837
|
| DIČ: | CZ28605837 |
| ID data: | 3bngrkk
|
Středisko Brno
- Activair s.r.o.
Bohunická 728/24a
619 00 Brno - Horní Heršpice
Česká republika
| Tel: | +420 545 210 455
|
| Fax: | +420 226 013 984 |
| E-mail: |
Středisko Praha
-
Activair s.r.o.
Novodvorská 803/82
142 00 Praha 4 – Lhotka
Česká republika
| Tel: | +420 222 362 288
|
| Fax: | +420 226 013 984 |
| E-mail: |
Slovensko
- Activair SK s.r.o.
Cementárenská cesta 16
974 01 Banská Bystrica
Slovenská republika
| Tel: | +421 948 422 022
|
| Fax: | +420 226 013 984 |
| E-mail: |
Activair.cz > > > > > >
STP-iXA3306C
Řada magneticky levitujících turbomolekulárních vývěv STP-iXA3306 poskytuje prvotřídní výkon a zahrnuje malé zdroje do řídící jednotky - nejnovější technologie dobře zavedené řady STPiXA3305.
Charakteristika
- Kompaktní konstrukce včetně plně integrovaného kontroléru
- Inovativní, samosnímací systém magnetického ložiska
- Digitální 5-osé řízení
- Úrovně vibrací sníženy o 50% oproti stávajícím turbomolekulárním vývěvám
- Může být konfigurován pro použití v korozivních procesech
Oblasti použití
- Plazmové leptání (chlórů, fluoru a chemického brómu) pro kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
- ECR
- Depozice tenkých vrstev CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
| Technická data | ||
| Velikost vstupní příruby | ISO250F / VG250 / ICF305 | ISO320F / VG300 / ICF356 |
| Velikost výstupního portu | KF40 | K40 |
| Rychlost čerpání N2 | 2650 ls-1 | 3200 ls-1 |
| Rychlost čerpání - Ar | 2300 ls-1 | 2800 ls-1 |
| Váha | 80 kg | 83 kg |
| Kompresní poměr N2/H2 | >108 / 2 x 103 |
| Konečný tlak | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| Povolený zpětný tlak | 266 Pa (2 Torr) |
| Maximální povolený plynový průtok N2 *(chlazeno vodou) | 4000 sccm (6.76 Pam3s-1) |
| Maximální povolený plynový průtok Ar * (chlazeno vodou) | 2100 sccm (3.55 Pam3s-1) |
| Klasifikovaná rychlost | 27700 rpm |
| Čas spuštění | |
| Montážní poloha | Jakákoliv orientace |
| Vstupní napětí | 200-240 V |
| Maximální příkon bez TMS | 1500 VA |
| Maximální příkon s TMS | 1800 VA |
- Edwards Maglev Turbos and the Environment Brochure (pdf, 1057KB)
