Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

STP-iXA3306C

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Turbomolekulární vývěvy > STP Turbomolekulární vývěvy > STP vývěvy s integrovaným kontrolérem > STP-iXA3306C
STP-iXA3306C - STP vývěvy s integrovaným kontrolérem

Řada magneticky levitujících turbomolekulárních vývěv STP-iXA3306 poskytuje prvotřídní výkon a zahrnuje malé zdroje do řídící jednotky - nejnovější technologie dobře zavedené řady STPiXA3305.

Charakteristika

  • Kompaktní konstrukce včetně plně integrovaného kontroléru
  • Inovativní, samosnímací systém magnetického ložiska
  • Digitální 5-osé řízení
  • Úrovně vibrací sníženy o 50% oproti stávajícím turbomolekulárním vývěvám
  • Může být konfigurován pro použití v korozivních procesech

Oblasti použití

  • Plazmové leptání (chlórů, fluoru a chemického brómu) pro  kov (hliník), wolfram a nevodivý (oxidový) a polysilicon
  • ECR
  • Depozice tenkých vrstev CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
Technická data    
Velikost vstupní příruby ISO250F / VG250 / ICF305 ISO320F / VG300 / ICF356
Velikost výstupního portu KF40 K40
Rychlost čerpání N2 2650 ls-1 3200 ls-1
Rychlost čerpání - Ar 2300 ls-1 2800 ls-1
Váha 80 kg 83 kg

 

   
Kompresní poměr N2/H2 >108 / 2 x 103
Konečný tlak 10-7 Pa (10-9 Torr)
Povolený zpětný tlak 266 Pa (2 Torr)
Maximální povolený plynový průtok N2 *(chlazeno vodou) 4000 sccm (6.76 Pam3s-1)
Maximální povolený plynový průtok Ar * (chlazeno vodou) 2100 sccm (3.55 Pam3s-1)
Klasifikovaná rychlost 27700 rpm
Čas spuštění  
Montážní poloha Jakákoliv orientace
Vstupní napětí 200-240 V
Maximální příkon bez TMS 1500 VA
Maximální příkon s TMS 1800 VA
*Maximální průtok plynu je použitelný za podmínek, že N2 nebo Ar plyn je čerpán kontinuálně s teplotou chladící vody pod 25°C a je použita zazpětňovací vývěva (velikost 10,000 l/min). To se změní podmínkou.