Kontaktní formulář

Kontaktujte nás
E-shop

Atlas Helios

Activair.cz > Produkty > Vývěvy a vakuové stanice > Exhaust management > Atlas Helios
Atlas Helios - Exhaust management

Účinné výfukové řízení CVD procesů musí být schopno zvládnout depozici plynů a souvisejicího prachu. Fluoridové odpady z čištěných plynů, také vyžadují vhodné zacházení spolu s globálním oteplováním plynů. Systémy snižování musí být schopny splnit tyto požadavky v jedné kompletní jednotce.

Charakteristika

  • Osvědčené vysoké snížení výkonu pro toxické, samovznětelné a korozivní plyny
    • Spolehlivá manipulace s přidruženým prachem
  • Řízená a kompletní oxidace vodíku do bezpečných limitů
    • Schopné obsloužit až 200 lpm vodíku
    • Až 4 procesní vstupy

Oblasti použití

  • Si epitaxe
  • III-V MOCVD
  • SIGe epitaxe
Technická data  
Procesní připojení  
Procesní vstupy plynu NW40 nerezová ocel
Obtokový výstup NW40 nerezová ocel
Snižování systému výfukového výstupu 75 mm průměr polypropylen
Skříňka extrahování výstupu 150 mm průměr x 150 mm hluboko, lakováno jemnou ocelí
Servisní připojení  
Přívod dusíku 1/2 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod kyslíku 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod stlačeného vzduchu 1/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod paliva plynu 3/4 inch Swagelok, nerezová ocel
Přívod chladící vody 25 mm GF union, polypropylen
Zpětný výstup chlazení vody 25 mm GF union, polypropylene
Nahrazení vodního vstupu 25 mm GF union, polypropylene
Kyselé vody kanalizační výstup 25 mm GF union, polypropylene
Elektrické zapojení  
Elektrické napájení kabelové průchodky 32 mm kabelová žláza, vhodná pro  5-žilové dvojité izolované kabely
Zákaznické kabelové připojení leadthroughs 16 mm kabelová žláza
Rozhraní připojení odběratele Šroubové terminály
Požadavky na napájení
  
Dodávky 3-phase 400,220,208,200V, 50/60Hz
1-phase 100V, 50/60Hz
Jmenovitý příkon
 1.3kW
Mechanická Data
  
Váha 530kg
  101.5kg (WRU E Model)
  103.5kg (WRU S J Modely)